[实用新型]一种PCB板内外层线路量测仪

说明书

技术领域

本实用新型涉及PCB板内、外层线路的量测设备领域，尤其涉及的是一种可提高量测精度和效率、并降低人力成本的PCB板内外层线路量测仪。

背景技术

PCB板内、外层线路的宽度以及相邻线路之间的间距，称为线宽/间距，线宽/间距作为PCB板的重要技术指标，其数值范围在逐年缩小，目前的线宽/间距已发展到了75μm，甚至达到了50μm，而且线宽/间距为50μm /50μm的精细导线，已逐渐成为目前PCB板微细导线的主流，由此可见线宽的测量和控制在生产过程中也就显得更加重要。

但是，传统的放大镜加荧光灯的线宽量测仪依靠的是操作人员手摇移动坐标台，通过肉眼的视线对准误差，焦距调整过程繁琐，对技术的熟练程度要求较高，不仅人员劳动强度大、费时费力，而且还无法批量检测，量测的精度和效率非常低。

同时，人力成本不断上升，客户对产品质量要求越来越高，抽检已提升为全检，降低人力成本，提高检测效率是市场的大势所趋，传统测量仪器难以满足要求。

因此，现有技术尚有待改进和发展。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种PCB板内外层线路量测仪，可提高量测的精度和效率，并降低人力成本。

本实用新型的技术方案如下：一种PCB板内外层线路量测仪，包括带有光源的偏振干涉共焦显微装置、具有量测功能的工业相机、FPGA相位卡和计算机，所述工业相机用于捕捉所述偏振干涉共焦显微装置产生的测量信号并传送至所述FPGA相位卡，所述FPGA相位卡用于对所述测量信号进行相位测量，将含有PCB板内层或外层线路中待测线条台阶边缘位置信息的相位变化数据传送至所述计算机。

所述的PCB板内外层线路量测仪，其中：所述偏振干涉共焦显微装置包括横向塞曼激光器、分束器、第一探测器、第一透镜、第一针孔、第二透镜、反射棱镜、显微物镜、半透半反镜、检偏器、聚光透镜、第三探测器、第三透镜、第二针孔和第二探测器；其中，所述横向塞曼激光器作为光源发出的一对正交线偏振光，通过所述分束器后分成反射光和透射光，反射光进入所述第一探测器作为参考信号，透射光经过所述第一透镜汇聚到所述第一针孔上，并通过所述第二透镜变成平行光束，平行光束经所述反射棱镜反射后经所述显微物镜被聚焦在所述PCB板上，被聚焦后的光线被所述PCB板反射后再次经所述显微物镜变回平行光，并被所述半透半反镜分成两部分：透射部分通过所述反射棱镜在所述检偏器上发生干涉，干涉光经所述聚光透镜聚焦后进入所述第三探测器产生测量信号，通过与所述第一探测器产生的参考信号进行比相位测量，得到台阶边缘相位变化信息；反射部分由所述第三透镜汇聚到所述第二针孔上，由所述第二探测器接收得到光强信号。

所述的PCB板内外层线路量测仪，其中：所述横向塞曼激光器为低频差横向塞曼He-Ne激光器。

所述的PCB板内外层线路量测仪，其中：所述反射棱镜为半孔径反射棱镜。

所述的PCB板内外层线路量测仪，其中：所述第二探测器产生的光强信号经由一锁相放大器放大后传送至所述计算机。

本实用新型所提供的一种PCB板内外层线路量测仪，由于采用了偏振干涉共焦显微装置，利用不同偏振方向(平行和垂直台阶边缘)的线偏振光照射到台阶边缘反射后产生的相位变化特性，对PCB板内层或外层线路的线条边缘进行定位，其精度可达0.1°，设置十字线也非常简单快捷，由此提高了对PCB板内外层线路线宽线距量测的精度和效率，在降低系统成本的同时也降低了人力成本。

附图说明

图1是本实用新型PCB板内外层线路量测仪的工作原理结构框图。

图2是本实用新型PCB板内外层线路量测仪所用偏振干涉共焦显微系统的光路原理图。

具体实施方式

以下将结合附图，对本实用新型的具体实施方式和实施例加以详细说明，所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的具体实施方式。

进行线宽测量其核心的内容是对线宽边缘进行准确的定位及量测，边界定位量测构成了用光学测微法测量线宽的基本任务