[实用新型]磁控溅射铝镜生产线前、后粗抽真空室有效
| 申请号： | 201320483258.2 | 申请日： | 2013-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN203440442U | 公开（公告）日： | 2014-02-19 |
| 发明（设计）人： | 郭玉芬;丁秀芳;赵彬;庄慧显;丁波;曹本伟;董磊;尹怀秀 | 申请（专利权）人： | 青岛环球集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35;C23C14/14 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 王连君 |
| 地址： | 266400 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁控溅射 生产线 后粗抽 真空 | ||
【权利要求书】：
1.一种磁控溅射铝镜生产线前、后粗抽真空室，包括真空室、上盖板、传动轴、外真空锁、内真空锁，其中，兼作玻璃板的进出通道的外真空锁设置在真空室左端的侧壁上，兼作真空室进出口的内真空锁设置在真空室右端侧壁上，其特征在于，所述真空室右端部分的高度大于其左端部分的高度,其整体呈台阶式矩形结构，所述真空室的右端的顶部设置有真空锁维修盖，所述上盖板呈凹形，其除外周密封用方框外，中间部分整体下凹，所述上盖板的下凹部分的下表面与所述真空室左侧壁顶端的上密封法兰框底面平齐，所述上盖板与真空室左右侧壁之间通过所述真空室上密封法兰框连接。
2.根据权利要求1所述的磁控溅射铝镜生产线前、后粗抽真空室，其特征在于，所述真空室的底部每相邻两个传动轴之间的空间内设置有若干两端密闭的方钢。
3.根据权利要求1所述的磁控溅射铝镜生产线前、后粗抽真空室，其特征在于，所述传动轴为空心管轴，其中段部分为空心管，两个轴头分别焊接在空心管的两端。
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