[实用新型]磁控溅射铝镜生产线前、后粗抽真空室

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种磁控溅射铝镜生产线前、后真空室，特别涉及一种磁控溅射铝镜生产线前、后粗抽真空室。

背景技术

磁控溅射铝镜生产线生产过程中，粗抽真空室每个生产分步骤的工序流程依次是：开外真空锁、进玻璃板、关外真空锁、抽真空、开内真空锁、出玻璃板、关内真空锁、破真空充气恢复大气压。除抽真空工序外，其他各工序所需的时间基本固定不变。因此，抽真空时间的长短决定了整个生产过程的生产效率。

图1为现有技术的粗抽真空室结构示意图。如图1所示，粗抽真空室由左、右侧壁、底板和上盖板围成一个密闭的整体呈矩形结构空间，其中上盖板为可拆卸连接，其通过左、右侧壁上部的真空室上密封法兰框连接；左、右两端侧壁分别设置有外真空锁和内真空锁，真空室的下部间隔设置有若干传动轴。

真空室还设置有玻璃板进出的通道，该通道只在玻璃板进出真空室时才打开，其他时间该通道由外真空锁封闭。从上述真空室的结构可以看出，由于需要安装内真空锁，其内部空间很大。生产过程中，粗抽真空室空间越大，则其抽真空和破真空所需的时间就较长，整个工艺流程所需的时间也就越长。所以，真空室空间的大小直接决定了单位时间内的产量和生产线的生产效率。

从图1可以看出，现有技术中的粗抽真空室结构形式决定了其内部空间必然很大，而且，在真空室工作过程中，其无效或者无法有效利用的空间占比较大。即，现有技术中的粗抽真空室结构和布置存在诸多的不合理之处，其真空室存在较多的冗余空间。

实用新型内容

本实用新型的目的是，提供一种结构紧凑、布置合理、冗余空间小的磁控溅射铝镜生产线前、后粗抽真空室。

本实用新型要解决的技术问题是，在保证工艺要求的同时，尽可能减小真空室的冗余空间，以缩短抽真空和破真空所需要的时间，减少无谓的能源消耗，提高单位时间的产量和生产效率。

本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案是，一种磁控溅射铝镜生产线前、后粗抽真空室，包括真空室、上盖板、传动轴、外真空锁、内真空锁，其中，兼作玻璃板的进出通道的外真空锁设置在真空室左端的侧壁上，兼作真空室进出口的内真空锁设置在真空室右端侧壁上，上述真空室右端部分的高度大于其左端部分的高度,其整体呈台阶式矩形结构，真空室的右端的顶部设置有真空锁维修盖，上盖板呈凹形，其除外周密封用方框外，中间部份整体下凹，上盖板的下凹部分的下表面与所述真空室左侧壁顶端的上密封法兰框底面平齐，上盖板与真空室左右侧壁之间通过上述真空室上密封法兰框连接。

上述磁控溅射铝镜生产线前、后粗抽真空室，由于其采用了左、右两端呈台阶式的矩形结构，其中左端高度相对较低的空间部分用于真空室的工作空间，右端高度相对较高的空间部分用于设置真空锁维修盖，以保证检修人员能够进出真空室以便维修右端侧壁上的兼作真空室进出口的内真空锁。即，本实用新型的磁控溅射铝镜生产线前、后粗抽真空室相对于现有技术，其除安装内真空锁的右端侧壁部份的空间保持原高度外，其余部份的空间高度均降至与玻璃板通道口的上表面的高度平齐。因而，在满足玻璃板能自由进出真空室和保证检修人员能够进出真空室以便维修右端侧壁上的内真空锁的前提下，最大限度地减小了磁控溅射铝镜生产线前、后粗抽真空室的内部空间。

作为优选，上述真空室的底部每相邻两个传动轴之间的空间内设置有若干两端密闭的方钢。

该优选技术方案中，在真空室的底部每相邻两个传动轴之间的空间内设置有若干两端密闭的方钢，其中两端封闭的方钢仅仅只是起填充作用，从而减小真空室内空气可能占据的空间。上述技术方案的作用或技术效果是，最大限度地减少了真空室内非工艺必需的冗余空间。

作为优选，上述传动轴为空心管轴，其中段部分为空心管，两个轴头分别焊接在空心管的两端。

由于传动轴通过滚动带动其上面的玻璃板在水平方向进行左或右移动，其负荷不大，采用空心管结构的传动轴可以降低设备自重，有利于减少电能消耗和节省设备制作的材料。

从上述技术方案可以看出，本实用新型的磁控溅射铝镜生产线前、后粗抽真空室的结构直接带来了以下技术效果：

真空室的冗余空间小，最大限度地缩短了抽真空破真空所需的时间，最大限度地减少了抽真空与破真空过程的动力消耗量，节约了生产成本；并且，相应地缩短了整个生产线生产周期，提高了单位时间的产量和生产效率。

另一方面，本实用新型在现有技术的基础上通过简单地技术改造完成，其制作成本低、结构简单，既能满足工艺使用要求，又方便维修。