[实用新型]硬质脆性板的磨削装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及对在便携终端的显示面板中使用的玻璃基板及其它硬质脆性板的周缘进行磨削加工的装置，并涉及具备加工精度的测量、以及根据由该测量得到的测量值对加工误差进行修正的功能的上述装置。

背景技术

在硬质脆性板的磨削装置中，存在使砂轮相对于工件的相对位置在正交的两个轴方向（X-Y方向）移动地进行的加工中心方式（直角坐标系）的装置、以及将保持工件的工作台的旋转角度与在该旋转的半径方向移动的砂轮的位置相关联地进行控制而进行加工的仿形方式（极坐标系）的装置。直角坐标系的装置适用于像电视机显像器的显示面板用的玻璃板那样的大型且为矩形的硬质脆性板的加工。另一方面，极坐标系的装置适用于在便携终端的显示面板中使用的玻璃板等小型的硬质脆性板的加工，极坐标系的装置具有与直角坐标系的装置相比加工形状的自由度大并且能够使装置小型化的特点。

硬质脆性板的磨削装置无法通过以使工件的基准边与在工作台设置的突起抵接的方式进行定位等手段来进行工件在工作台上的定位。因此，需要在控制器中设定修正值来进行加工，该修正值用于在从准确的位置偏离的（偏移的）位置将保持于工作台的工件加工成准确的形状。

因此，在装置内设置照相机，每当将工件搬入到磨削装置并固定在工作台上，就用该照相机对工件在工作台上的角度和定位标记进行拍摄，根据该图像检测该角度和定位标记相对于应处的位置的偏移，根据检测到的偏移运算出工作台的旋转角度和砂轮的位置的修正值，一边根据该修正值对来自控制器的指令值进行修正一边进行加工。

另一方面，由于设备的时效变化、热变形、砂轮的磨损等，工件的加工精度降低。为了防止这样的时效性的加工精度的降低，每进行预定数量的工件加工就将被加工的工件取出，对工件尺寸进行测量，根据该测量值运算出用于对加工精度进行修正的修正值，并输入控制器，从而维持预期的加工精度。

也就是说，在硬质脆性板的磨削装置中，根据用于对由设备的热变形和砂轮的磨损引起的加工精度的降低进行修正的修正值（机械精度的修正值）、和对每一个工件修正该工件在工作台上的偏移的修正值（搬入误差的修正值）这两种修正值，对工作台的旋转角度和砂轮的位置的指令值进行修正而进行加工。

对于搬入误差的修正值，在过去，根据在装置内设置的照相机的图像检测出搬入误差而自动地进行修正值的设定。例如，在专利文献3中公开了下述技术：对于极坐标系的磨削装置，在沿工件工作台的半径方向移动的进给台搭载一个照相机，利用该照相机自动地检测工件在工作台上的搬入误差。

另一方面，对于机械精度的修正，在专利文献1中公开了下述手段：在直角坐标系的磨削装置中，使用为了检测搬入误差而设置的照相机，对加工完的工件的周缘的位置和倒角宽度进行测量，并自动设定机械精度的修正值。并且，在专利文献2中公开了下述技术：使用这样的照相机对加工完的工件的加工形状进行测量，从而测量出机械精度（在专利文献2中，在旋转主轴的上端安装的工作台的安装误差）并进行修正。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2009-125876号公报

专利文献2：日本特开2012-121100号公报

专利文献3：日本特开2013-35089号公报

在如专利文献1所示的直角坐标系的磨削装置中，砂轮相对于工件在正交的两个方向（X方向和Y方向）移动而进行与该方向的尺寸精度相关的加工，因此，利用搭载于将砂轮沿该方向进给的进给台的照相机来进行加工完的工件的测量，由此，能够比较容易地进行机械精度的修正值的运算。特别是，在如专利文献1所示的具备同时对工件的对置边进行加工的两个砂轮、且分别在各砂轮的进给台搭载照相机的结构中，能够利用两个照相机同时对加工完的工件的两对置边进行拍摄而对工件的加工尺寸（与加工的边正交的方向的跨度尺寸）进行测量，因此，能够在较短时间进行加工完的工件的测量，也能够容易地根据该测量值自动设定机械精度的修正值。

与此相对，在极坐标系的磨削装置中，只设置1台照相机，工件和砂轮的动作方向与对加工精度进行测量的方向不一致，因此，加工精度的测量非常复杂而且麻烦。即，如专利文献2所示，不得不使用设置有特殊的检测线的工件来取得多个部位的图像等，难以在工件的连续加工中自动且短时间地对工件的加工精度进行测量。

因此，在极坐标系的磨削装置中，通过下述方法设定机械精度的修正值：将加工完的工件从磨削装置取出并通过手工作业进行测量，通过手工作业输入根据该测量值运算出的修正值。但是，用手工作业设定修正值存在下述等问题：作业需要时间和熟练度；需要昂贵的测量仪器；以及在运算和输入修正值时存在产生计算错误和输入错误的危险。