[实用新型]一种真空腔室观察窗装置

权利要求书

1.一种真空腔室观察窗装置，包括一设于真空腔室的侧板（11）上的观察孔（12）、对应位于观察孔（12）外端侧的观察玻璃（13）以及固定盖（14）；其特征在于：

所述观察玻璃（13）覆盖于观察孔（12）的外端上；

所述固定盖（14）具有周向一圈的朝固定盖（14）厚度方向延伸的盖边沿（15），使固定盖（14）具有一盖内腔；所述固定盖（14）从外向内罩设于观察玻璃（13）上，使观察玻璃（13）位于所述盖内腔中，固定盖（14）的一周盖边沿（15）与观察孔（12）周向上的真空腔室的侧板（11）板面相对，且以螺钉将固定盖（14）的一周盖边沿（15）与真空腔室的侧板（11）固定连接；

并且，在观察玻璃（13）与观察孔（12）间设有一密封圈结构，该密封圈结构由一O型密封圈（16）和一卡持圈（17）组成；所述O型密封圈（16）垫衬于观察玻璃（13）与真空腔室的侧板（11）之间，且O型密封圈（16）绕观察孔（12）的端口外周布置；所述卡持圈（17）为绕O型密封圈（16）的内周面设置的环形支撑体，卡持圈（17）的外周面与O型密封圈（16）接触，而卡持圈（17）朝观察孔（12）的一端嵌入观察孔（12）内。

2.根据权利要求1所述真空腔室观察窗装置，其特征在于：还包括一加工密封面（18），该加工密封面（18）是在真空腔室的侧板（11）的外表面上加工出的绕观察孔（12）周向的环形密封面；所述O型密封圈（16）和固定盖（14）的盖边沿（15）端面与所述加工密封面（18）相抵接触。

3.根据权利要求2所述真空腔室观察窗装置，其特征在于：所述加工密封面（18）的外周形成一圈定位台阶（19），该定位台阶（19）与固定盖（14）的盖边沿（15）对应配合，使固定盖（14）的盖边沿（15）嵌置于这一圈定位台阶（19）中。

4.根据权利要求1所述真空腔室观察窗装置，其特征在于：所述卡持圈（17）的外周面上对应O型密封圈（16）设有定位凹槽，O型密封圈（16）置于该定位凹槽内。

5.根据权利要求1所述真空腔室观察窗装置，其特征在于：所述卡持圈（17）的外周面上设一面朝观察孔（12）侧的台阶面，使卡持圈（17）的截面呈台阶状，其朝观察孔（12）的一端为小端，而反向的另一端则为大端；当卡持圈（17）的小端嵌入观察孔（12）内，台阶面与观察孔（12）的外端口相抵配合，以限制卡持圈（17）沿观察孔（12）轴向的运动。

6.根据权利要求1所述真空腔室观察窗装置，其特征在于：所述观察玻璃（13）的外侧表面与固定盖（14）间还设垫有密封垫（20）。