[实用新型]一种真空腔室观察窗装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备，具体涉及真空镀膜设备上的真空腔室观察窗装置。 

背景技术

由于真空镀膜设备是组合式的密闭壳体结构，为了能随时监测腔室内部的运行情况，就需要在设备上安装观察窗装置。对于观察窗装置，密封是关键。 

目前，常见的现有观察窗装置多采用分体式结构，参见图1，由观察孔1、安装支座2、观察玻璃3、密封圈4以及固定盖5组成，所述观察孔1开设于真空腔室的侧板6上；安装支座2为一环形体，其内端嵌入观察孔1的外端中，并以焊接方式固定；所述安装支座2的外端中嵌入观察玻璃3，且该外端为台阶状，使观察玻璃3搁置于台阶上；并且，为了密封，在观察玻璃3和安装支座2的台阶间必须设密封圈4，故安装支座2的台阶上还要开设用于嵌置定位密封圈4的密封圈槽；固定盖5封盖于安装支座2的外端，该固定盖5与安装支座2间以螺钉连接。 

上述现有技术，存以以下不足： 

1 、由于安装支座2要以焊接方式固连在设备上，一方面焊接较麻烦，另一方面焊缝位置也存在泄露隐患；

2、为了定位密封圈4，安装支座2上还要开设密封圈槽，这就提高了零件的加工要求。                                                     

发明内容

本实用新型目的是提供一种真空腔室观察窗装置，以解决现有技术需要焊接较麻烦，焊缝位置又存在泄露隐患的问题。 

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种真空腔室观察窗装置，包括一设于真空腔室的侧板上的观察孔、对应位于观察孔外端侧的观察玻璃以及固定盖； 

所述观察玻璃覆盖于观察孔的外端上；

所述固定盖具有周向一圈的朝固定盖厚度方向延伸的盖边沿，使固定盖具有一盖内腔；所述固定盖从外向内罩设于观察玻璃上，使观察玻璃位于所述盖内腔中，固定盖的一周盖边沿与观察孔周向上的真空腔室的侧板板面相对，且以螺钉将固定盖的一周盖边沿与真空腔室的侧板固定连接；

并且，在观察玻璃与观察孔间设有一密封圈结构，该密封圈结构由一O型密封圈和一卡持圈组成；所述O型密封圈垫衬于观察玻璃与真空腔室的侧板之间，且O型密封圈绕观察孔的端口外周布置；所述卡持圈为绕O型密封圈的内周面设置的环形支撑体，卡持圈的外周面与O型密封圈接触，而卡持圈朝观察孔的一端嵌入观察孔内。

     上述技术方案中的有关内容解释如下： 

1、上述方案中，所述“观察孔外端”及“ 所述固定盖从外向内罩设于观察玻璃上”中的“外”“内”方向是按真空腔室的侧板的内外定义的，真空腔室的侧板朝真空腔室内部的那面为内，另一面即为外。

2、上述方案中，所述“真空腔室的侧板”是指围绕构成真空腔室的壁板，从方位上看可以是真空腔室的顶面壁板、也可以是前后左右侧的壁板。 

3、上述方案中，还包括一加工密封面，该加工密封面是在真空腔室的侧板的外表面上加工出的绕观察孔周向的环形密封面；所述O型密封圈和固定盖的盖边沿端面与所述加工密封面相抵接触。 

再进一步，所述加工密封面的外周形成一圈定位台阶，该定位台阶与固定盖的盖边沿对应配合，使固定盖的盖边沿嵌置于这一圈定位台阶中，即在装配时先以一圈定位台阶对固定盖的位置进行预定位，方便后续的拧螺钉连接。 

4、上述方案中，所述卡持圈的外周面上对应O型密封圈设有定位凹槽，O型密封圈置于该定位凹槽内。 

5、上述方案中，所述观察玻璃的外侧表面与固定盖间还设垫有密封垫。 

6、上述方案中，所述卡持圈的外周面上设一面朝观察孔侧的台阶面，使卡持圈的截面呈台阶状，其朝观察孔的一端为小端，而反向的另一端则为大端；当卡持圈的小端嵌入观察孔内，台阶面与观察孔的外端口相抵配合，以限制卡持圈沿观察孔轴向的运动。 

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点： 

1、本实用新型结构新颖简洁，观察窗装置与真空腔室的侧板不需要焊接连接，避免了因焊缝造成的泄漏隐患，同时制造工艺得到简化；

2、本实用新型采用O型密封圈和卡持圈组成的密封圈结构，相比现有技术以开槽来安置密封圈的方式，更简单，零件的生产要求降低。

附图说明

图1为现有技术结构示意图； 

图2为本实用新型实施例结构示意图。