[实用新型]化学机械研磨固定具

权利要求书

1.一种化学机械研磨固定具，其特征在于，包含：

一固定座，包含：

一环形基材，具有一第一结合面；及

多个凸块，环状排列设于该第一结合面，各该凸块的材质为聚苯硫醚，各该凸块包含一第一卡合面，该第一卡合面沿该环形基材的径向延伸的平面且自其根部向该凸块的外侧倾斜；及

一固定环，具有一第二结合面与多个第一凹槽，该多个第一凹槽环状排列设于该第二结合面，各该第一凹槽的局部周缘构成一第二卡合面，该第二卡合面自其根部向该第二结合面倾斜；

该凸块设置于该第一凹槽位置，藉由该固定座与该固定环分别沿圆周方向逆向旋转而使该凸块的第一卡合面卡合于该第一凹槽的第二卡合面。

2.根据权利要求1所述的化学机械研磨固定具，其特征在于，各该凸块具有一第一穿孔，且该环形基材的该第一结合面具有分别对应于各该第一穿孔的多个第二穿孔，彼此相对的该第一穿孔与该第二穿孔供一螺丝锁附而使固定该凸块于该环形基材上。

3.根据权利要求2所述的化学机械研磨固定具，其特征在于，该环形基材更包含多个第二凹槽，各该第二凹槽供各该凸块摆置以防止各该凸块滑动。

4.根据权利要求1所述的化学机械研磨固定具，其特征在于，各该凸块具有一凸柱，且该环形基材的该第一结合面具有一凹孔，该凸柱插入该凹孔而固定该凸块于该环形基材上。

5.根据权利要求4所述的化学机械研磨固定具，其特征在于，该环形基材更包含多个第二凹槽，每个该第二凹槽供每个该凸块摆置以防止该凸块滑动。

6.根据权利要求1所述的化学机械研磨固定具，其特征在于，该第一卡合面与该第二卡合面的倾斜角度在1度至60度的范围间，且该第一卡合面平行于该第二卡合面。

7.根据权利要求1所述的化学机械研磨固定具，其特征在于，该凸块更包含：一第一导引面，位于该第一卡合面的对面且平行于该第一卡合面。

8.根据权利要求7所述的化学机械研磨固定具，其特征在于，该第一凹槽更包含：一第二导引面，位于该第二卡合面的对面且平行于该第二卡合面。

9.根据权利要求8所述的化学机械研磨固定具，其特征在于，该第一导引面与该第二导引面的倾斜角度为1度至60度之间，且该第一导引面平行于该第二导引面。