[实用新型]直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置

权利要求书

1.直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置，其特征在于：包括挂件和主杆，所述挂件和主杆固定连接，所述主杆上设有感应计数装置。

2.如权利要求1所述的直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置，其特征在于：所述感应计数装置包括感应器（6）和数据显示器（7），所述数据显示器（7）与主杆滑动连接，数据显示器（7）固定连接有感应器（6）。

3.如权利要求1或2所述的直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置，其特征在于：所述挂件包括主挂件（1）和设置于主挂件（1）一端的卡爪Ⅱ（10），所述主挂件（1）的另一端固定安装有滑动副挂件（4），所述滑动副挂件（4）上设有卡爪Ⅰ（2）。

4.如权利要求3所述的直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置，其特征在于：所述主杆上设置有刻度尺（9）。

5.如权利要求4所述的直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置，其特征在于：所述感应器（6）上装有报警灯（8）。

6.如权利要求5所述的直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置，其特征在于：所述滑动副挂件（4）上设有固定所述卡爪Ⅰ（2）的弹簧扣（3）。