[实用新型]直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置

说明书

技术领域

本实用新型属于单晶硅制造设备技术领域，涉及一种直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置。

背景技术

目前，在校准直拉单晶籽晶行程时，使用目测的方法，由于目测存在一定误差，如果测量值比实际值过大，则导致炉内剩余过多埚底料，造成物料浪费，增加生产成本，如果测量值比实际值过小，则会导致单晶收尾不稳，影响成晶率。

导致生产过程中不能准确算出炉内剩料量，不能准确判断收尾，不能准确判断晶体软限位是否合理，可能会导致晶体掉入埚内，不能准确确定引晶液口距，导致引放次数偏多，最终造成成晶率降低，生产成本增高的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置，解决了现有技术采用目测存在的测量值不准确的问题。

本实用新型采用的技术方案是，直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置，包括挂件和主杆，挂件和主杆固定连接，主杆上设有感应计数装置。

本实用新型的特点还在于：

感应计数装置包括感应器和数据显示器，数据显示器与主杆滑动连接，数据显示器固定连接有感应器。

挂件包括主挂件和设置于主挂件一端的卡爪Ⅱ，主挂件的另一端固定安装有滑动副挂件，滑动副挂件上设有卡爪Ⅰ。

主杆上设置有刻度尺。

感应器上装有报警灯。

滑动副挂件上设有固定卡爪Ⅰ的弹簧扣。

本实用新型具有如下有益效果：

1、本实用新型在刻度尺上设置感应计数装置，可以精确的测量出籽晶行程，准确测量出晶体长度，从而准确算出剩料量，准确判断是否收尾，克服了目测误差较大导致的物料浪费和收尾不稳的问题，提高了成晶率，降低了生产成本。

2、本实用新型在主挂件上设置滑动副挂件，滑动副挂件与主挂件配合可稳定固定在直拉单晶炉副室炉筒上，保证了其测量结果的准确性。

3、本实用新型感应计数装置通过滑动块设置在刻度尺上，便于移动，操作方便，且结构简单、紧凑。

附图说明

图1为本实用新型直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置结构示意图；

图2为本实用新型直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置的滑动块结构示意图；

图3本实用新型直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置卡挂于直拉单晶炉副室炉筒示意图。

图中，1.主挂件，2.卡爪Ⅰ，3.弹簧扣，4.滑动副挂件，5.紧固螺钉，6.感应器，7.数据显示器，8.报警灯，9.刻度尺，10.卡爪Ⅱ。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明。

直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置，包括挂件和主杆，挂件和主杆固定连接，主杆上设有感应计数装置。主杆上设有刻度尺9。感应计数装置包括感应器6、数据显示器7和报警灯10且通过滑动块8设置在主杆上。挂件包括主挂件1和滑动副挂件4，主挂件1一端设有卡爪Ⅱ11，滑动副挂件4设置在主挂件1的另一端，滑动副挂件4上设有卡爪Ⅰ2。刻度尺9垂直设置在主挂件1上。滑动副挂件4上设有与卡爪Ⅰ2配合的弹簧扣3，弹簧扣3调节卡爪Ⅰ2上下左右活动，最终紧固。

实施例，直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置，参照图1、图2，包括挂件和主杆，挂件包括主挂件1，主挂件1一端为卡爪Ⅱ11，主挂件1另一端设置有滑动副挂件4，滑动副挂件4与主挂件1之间通过紧固螺钉5紧固，滑动副挂件4上设置有卡爪Ⅰ2与弹簧扣3，弹簧扣3调节卡爪2以便适应不同大小的副室炉筒并稳定连接。主杆上贴有刻度尺9，主杆上设置有滑动块8，主杆与滑动块8之间通过紧固螺钉5紧固，在滑动块上设置有数据显示器7，感应器6与数据显示器7固定连接，感应器6上装有报警灯8。

滑动副挂件4可在主挂件1上滑动，根据直拉单晶炉副室大小调节卡爪Ⅰ2与卡爪Ⅱ11之间的距离，卡爪Ⅰ2与卡爪Ⅱ11配合卡挂在直拉单晶炉副室炉筒下沿的凸台上，通过弹簧扣3调节卡爪Ⅰ2使其与单晶炉副室炉筒下沿的凸台完全紧固，最后通过紧固螺钉5固定滑动副挂件4，卡爪Ⅰ2与弹簧扣3配合使用，使整个校准装置稳定在直拉单晶炉副室上，不会使刻度尺9晃动，还可以适应于多种形状及微小变形的直拉单晶炉副室。