[实用新型]玻璃板制造装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种玻璃板制造装置。

背景技术

通常，玻璃板制造装置包括用于加热玻璃原料，并生成熔融玻璃的熔化槽、将熔融玻璃成形为玻璃板的成形装置、从熔化槽向成形装置输送熔融玻璃所需的输送管。玻璃板制造装置，根据需求还包括去除包含在熔融玻璃中的微小气泡的澄清槽以及用于搅拌熔融玻璃并使其均质化的搅拌槽。熔化槽、澄清槽、搅拌槽及成形装置分别与输送管相连。通过输送管内部的熔融玻璃的温度，因成形玻璃板的组成及玻璃板制造装置的结构等而不同。例如，通过溢流下拉法制造玻璃板的玻璃板制造装置中，熔融玻璃的温度为1000℃～1700℃，其中，所述玻璃板为具有适用于液晶显示器（LCD）等平面显示（FPD）用玻璃基板的组成的玻璃板。

为了从高温的熔融玻璃批量生产高品质的玻璃板，最佳为有可能形成玻璃板缺陷的主要原因的异物等不混入熔融玻璃中。因此，与熔融玻璃相接触的部件的内壁，有必要根据与其部件相接触的熔融部件的温度，及被要求的玻璃板的品质等，由适当的材料构成。制造FPD用玻璃基板所需的玻璃板制造装置中，与熔融玻璃相接触的内壁，通常使用铂族金属。以下，「铂族金属」意味着由单一的铂族元素构成的金属及由铂族元素而成的金属合金。铂族元素是白金（Pt）、鈀（Pd）、铑（Rh）、钌（Ru）、锇（Os）及铱（Ir）六个元素。铂族金属虽然价格贵，但熔点高，且对熔融玻璃的耐腐蚀性非常强。

而且，在玻璃板制造装置中，有必要在输送管的剖面上使通过输送管内部的熔融玻璃的温度均等。例如，向成形装置提供熔融玻璃的输送管中，一旦输送管的剖面上熔融玻璃的温度不同，提供至成形体的熔融玻璃的温度不能均等，会产生玻璃板的平坦度变坏的问题。

而且，由于形成低温p-Si（多晶硅）·TFT及氧化物半导体的玻璃基板的应变点高，因此，具有液相线温度变高的倾向，且液相线温度中的粘度，即、液相线粘度变低的倾向。此时，由于在输送管的内部流动的熔融玻璃的粘度与液相线粘度之差变小，成形的玻璃板失透的风险变高。特别是，一旦剖面上熔融玻璃的温度不同，会产生熔融玻璃的温度局部降低的区域，失透的风险变高。

为了使通过输送管内部的熔融玻璃的温度均等，专利文献1（特表2011-513173号公报）中，提出了由环状导电体构成的凸缘安装在输送管上的玻璃板制造装置。该玻璃板制造装置中，通过向凸缘通电，并加热输送管，能够控制在输送管内部流动的熔融玻璃的温度。

专利文献

专利文献1：特表2011-513173号公报

实用新型内容

但是，即使使用专利文献1所公开的输送管，根据凸缘的位置及凸缘的安装方法等，有时会出现向输送管流动的电流不均等。根据该构成，一旦输送管外壁的温度分布不均等，在输送管的内部流动的熔融玻璃的温度，在输送管的剖面上变得不同。其结果，提供至成形体的熔融玻璃的温度无法均等，有可能出现玻璃板的平坦度变坏的问题。

本实用新型的目的在于提供一种能够使在由白金或铂合金构成的管内部流动的熔融玻璃的温度均等的玻璃板制造装置。

涉及本实用新型的玻璃板制造装置，其包括加热玻璃原料并生成熔融玻璃的熔化槽、澄清在熔化槽生成的熔融玻璃的澄清槽、从在澄清槽被澄清的熔融玻璃成形为玻璃板的成形装置。在熔化槽生成的熔融玻璃，通过输送管的内部被送往成形装置。澄清槽及输送管分别包括导管、电机和抑制放热部件。导管由白金或铂合金制成，熔融玻璃在其内部流动。电极被安装在导管的外壁，向导管通电来加热在导管内部流动的熔融玻璃。抑制放热部件设置在导管的外周，抑制在导管内部流动的熔融玻璃放热。即、抑制放热部件调整在导管内部流动的熔融玻璃的放热量。抑制放热部件在澄清槽及输送管的至少局部中调整热电阻，以使导管的剖面上熔融玻璃的温度均等。