[实用新型]车灯玻璃连续镀膜装置用的真空插板阀有效
申请号: | 201320554819.3 | 申请日: | 2013-09-06 |
公开(公告)号: | CN203582966U | 公开(公告)日: | 2014-05-07 |
发明(设计)人: | 朱建明 | 申请(专利权)人: | 肇庆市科润真空设备有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 谢静娜;裘晖 |
地址: | 52606*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 车灯 玻璃 连续 镀膜 装置 真空 插板 | ||
1.车灯玻璃连续镀膜装置用的真空插板阀,设于相邻两个真空室的连接处,其特征在于,包括阀板、阀板开关气缸和阀板锁紧机构,两个真空室的工件通孔之间为连接通道,阀板设于连接通道内,阀板开关气缸与阀板外侧面连接,阀板锁紧机构与阀板板面连接;
所述阀板锁紧机构有两组,分别设于阀板板面的左右两侧;各阀板锁紧机构分别包括阀板压紧气缸、阀板压紧臂和锁紧转轴,阀板压紧气缸的活塞末端与阀板压紧臂连接,阀板压紧臂中部设置锁紧转轴;
所述阀板压紧臂设于锁紧转轴上端,锁紧转轴下端设有辅助压紧臂。
2.根据权利要求1所述车灯玻璃连续镀膜装置用的真空插板阀,其特征在于,所述连接通道内设有阀板运动通道,阀板运动通道贴紧于其中一个真空室的工件通孔,阀板设于阀板运动通道内。
3.根据权利要求2所述车灯玻璃连续镀膜装置用的真空插板阀,其特征在于,所述阀板开关气缸设于阀板运动通道外端,阀板开关气缸的活塞末端伸入阀板运动通道,且阀板开关气缸的活塞末端与阀板外侧面连接。
4.根据权利要求2所述车灯玻璃连续镀膜装置用的真空插板阀,其特征在于,所述阀板处于关闭状态时,阀板一侧的板面封住相应真空室的工件通孔,阀板另一侧的板面与阀板锁紧机构连接。
5.根据权利要求1所述车灯玻璃连续镀膜装置用的真空插板阀,其特征在于,所述阀板压紧臂为滚轮结构。
6.根据权利要求1所述车灯玻璃连续镀膜装置用的真空插板阀,其特征在于,所述阀板压紧气缸的运动方向与阀板开关气缸的运动方向互相垂直。
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