[实用新型]一种制备薄膜式电容负极碳箔的连续卷绕真空离子镀膜机

权利要求书

1.一种制备薄膜式电容负极碳箔的连续卷绕真空离子镀膜机，具有镀膜机箱体，镀膜机箱体内依次间隔设有放卷室（1）、过渡室（2）、镀膜室（3）和收卷室（4），所述放卷室（1）内设有放卷轮盘（11），所述过渡室（2）内设有基膜传送导辊（21），所述收卷室（4）内设有收卷轮盘（41）和收卷轮盘驱动电机，所述镀膜室（3）的箱体顶壁和底壁上分别设有磁控靶，其特征在于：所述过渡室（2）和镀膜室（3）的数量为多个，交错设置在所述放卷室（1）和收卷室（4）之间；所述镀膜室（3）的箱体顶壁和底壁上设置的磁控靶分别为铬材料磁控靶（31）和石墨材料磁控靶（32）。 

2.按照权利要求1所述的一种制备薄膜式电容负极碳箔的连续卷绕真空离子镀膜机，其特征在于：位于所述放卷室（1）和收卷室（4）之间大致中间位置的过渡室（2）内还设有基膜行进纠偏装置（200），该纠偏装置（200）包括纠偏辊（201）和纠偏辊座；所述纠偏辊（201）为倾角可调式纠偏辊，其包括一个固定端（202）和一个升降端（203），固定端轴（211）通过角接触球轴承（204）固定在纠偏辊座，升降端（203）设有升降滑套（205），在升降端（203）的纠偏辊座上设有与升降滑套（205）相配合的升降导轨，所述升降滑套（205）为槽轮形滑套，槽轮形滑套通过调心轴承固定在纠偏辊轴（206）上，所述升降导轨为垂直于纠偏辊座上水平面的两定位板（207），两定位板（207）之间构成升降滑套滑道；在升降端 （203）的纠偏辊座上还设有纠偏辊升降机构，该纠偏辊升降机构包括升降连杆（208），升降连杆（208）一端通过轴承与纠偏辊轴（206）连接，另一端通过轴承与升降驱动轴（209）端的偏心轴（210）连接，升降驱动轴（209）接纠偏驱动电机。 

3.按照权利要求2所述的一种制备薄膜式电容负极碳箔的连续卷绕真空离子镀膜机，其特征在于：所述纠偏辊（201）的两侧设有基膜位置传感器探头，传感器探头信号输出端接纠偏驱动电机控制器。 

4.按照权利要求1或2所述的一种制备薄膜式电容负极碳箔的连续卷绕真空离子镀膜机，其特征在于：所述放卷轮盘（11）连有放卷轮盘驱动电机，所述放卷轮盘驱动电机和收卷轮盘驱动电机均为变频调速电机；邻近所述放卷室（1）的过渡室（2）内还设有基膜行进速度主动控制压辊（22），在压辊（22）上设有速度传感器，速度传感器信号输出端接所述放卷轮盘驱动电机变频控制器（12）和收卷轮盘驱动电机变频控制器（42）。 

5.按照权利要求1或2所述的一种制备薄膜式电容负极碳箔的连续卷绕真空离子镀膜机，其特征在于：所述放卷室（1）和邻近所述收卷室（4）的过渡室（3）内还设有基膜张力缓冲装置，该基膜张力缓冲装置由绕摆轴（13）转动的缓冲摆杆（14）和缓冲摆杆复位装置构成，在摆杆上设有基膜张力缓冲导辊（15）。