[实用新型]晶体生长设备的底盘有效
| 申请号： | 201320592389.4 | 申请日： | 2013-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN203487281U | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 邱萍;茅陆荣;李广敏;朱晓龙;缪锦泉 | 申请（专利权）人： | 森松（江苏）重工有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 226500 江苏省南通市如皋市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶体生长 设备 底盘 | ||
1.一种晶体生长设备的底盘，包含由底盘环、上挡板、下挡板构成的底盘主体，其特征在于：所述上挡板、所述下挡板与所述底盘环之间形成腔体；
所述晶体生长设备的底盘还包含：分别沿轴向贯穿所述下挡板的进口管和出口管；所述进口管通过所述腔体与所述出口管导通；
所述晶体生长设备的底盘还包含：径向插入所述底盘环内的排气管，所述排气管与所述腔体导通。
2.根据权利要求1所述的晶体生长设备的底盘，其特征在于：所述进口管和所述出口管分别位于所述下挡板同一轴线的两端。
3.根据权利要求1所述的晶体生长设备的底盘，其特征在于：所述出口管的进口端延伸至所述上挡板的下表面；
所述上挡板的下表面对应所述出口管的进口端开设第一槽体，所述第一槽体与所述出口管的进口端在同一轴线上，且所述第一槽体的直径大于所述出口管进口端的直径。
4.根据权利要求3所述的晶体生长设备的底盘，其特征在于：所述第一槽体的深度为所述上挡板厚度的1／16至1／8。
5.根据权利要求1所述的晶体生长设备的底盘，其特征在于：所述排气管的进口端延伸至所述上挡板的下表面；
所述上挡板的下表面对应所述排气管的进口端开设第二槽体，所述第二槽体与所述排气管的进口端在同一轴线上，且所述第二槽体的直径大于所述排气管进口端的直径。
6.根据权利要求5所述的晶体生长设备的底盘，其特征在于：所述第二槽体的深度为所述上挡板厚度的1／8至1／4。
7.根据权利要求5所述的晶体生长设备的底盘，其特征在于：所述排气管的进口端与所述上挡板的下表面齐平；
或，所述排气管的进口端至少有部分插入所述第二槽体内。
8.根据权利要求1至7中任意一项所述的晶体生长设备的底盘，其特征在于：所述腔体内还设有螺旋导流板。
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