[实用新型]晶片烘烤装置及带有该装置的自动显影机有效
| 申请号： | 201320600277.9 | 申请日： | 2013-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN203551947U | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 张家豪;徐翊翔;黄照明;黄钦泽 | 申请（专利权）人： | 安徽三安光电有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/40 | 分类号： | G03F7/40;G03F7/26;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶片 烘烤 装置 带有 自动 显影 | ||
【权利要求书】：
1.晶片烘烤装置，包括：
烘烤室，具有用于放/取晶片的开口；
热盘，安装于所述烘烤室内，用于放置晶片；
冷却单元，安装于所述烘烤室内，用于冷却烘烤处理后的晶片。
2.根据权利要求1所述的晶片烘烤装置，其特征在于：所述冷却单元为气体吹扫元件。
3.根据权利要求2所述的晶片烘烤装置，其特征在于：还包括一供气单元，与所述气体吹扫元件连接。
4.根据权利要求3所述的晶片烘烤装置，其特征在于：所述用于冷却单元的气体为N2或空气。
5.根据权利要求3所述的晶片烘烤装置，其特征在于：所述用于冷却单元的气体温度为室温，或低于室温。
6.根据权利要求2所述的晶片烘烤装置，其特征在于：所述气体吹扫元件安装于所述烘烤室的侧壁或顶部。
7.根据权利要求2所述的晶片烘烤装置，其特征在于：在烘烤室外还设有一个抽气泵，与所述气体吹扫元件连接，用于抽排烘烤室内的气体。
8.根据权利要求2所述的晶片烘烤装置，其特征在于：所述气体吹扫元件具有气体吹扫口，其在进行气体吹扫时可转动。
9.根据权利要求1所述的晶片烘烤装置，其特征在于：还包括一控制单元，用于控制所述冷却单元：当晶片进行烘烤处理完毕马上进行冷却。
10.自动显影机，其特征在于：其包含前述权利要求1~9中任意一种晶片烘烤装置。
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