[实用新型]一种气体混合器有效
| 申请号： | 201320601602.3 | 申请日： | 2013-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN203474892U | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 刘耀峰;潘振东 | 申请（专利权）人： | 无锡荣能半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 刘洪京 |
| 地址： | 214183 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 气体 混合器 | ||
【权利要求书】：
1.一种气体混合器，包括第一空心球和第二空心球，
在所述第一空心球的一侧设有第一进气管和至少一个第二进气管，所述第一进气管的末端处于第一空心球的出气口处；
所述第一空心球的出气口与所述第二空心球的进气口通过管道连接；
所述第二空心球的出气口方向与第二空心球的进气口方向保持一定的夹角。
2.根据权利要求1所述的气体混合器，其特征在于：所述第一空心球与第二空心球的直径比为（1～1.5）：1。
3.根据权利要求1所述的气体混合器，其特征在于：所述第一进气管与第二进气管之间的夹角为20～80度。
4.根据权利要求3所述的气体混合器，其特征在于：所述第一进气管与第二进气管之间的夹角为50～60度。
5.根据权利要求1所述的气体混合器，其特征在于：所述第一进气管末段呈收缩状。
6.根据权利要求5所述的气体混合器，其特征在于：所述第一进气管末段为锥状管。
7.根据权利要求1所述的气体混合器，其特征在于：所述第二空心球的出气口方向与第二空心球的进气口方向的夹角为90～150度。
8.根据权利要求7所述的气体混合器，其特征在于：所述第二空心球的出气口方向与第二空心球的进气口方向的夹角为120度。
9.根据权利要求1所述的气体混合器，其特征在于：所述第一空心球设有2～3个第二进气管。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
