[实用新型]基板涂布装置

权利要求书

1.一种基板涂布装置，其特征在于：该基板涂布装置包含一个承载台、一个气泵单元、一个涂布单元，及一个控制单元，该承载台包括一个供一个基板设置的吸附区及至少一个空气通道，该空气通道于该吸附区的表面形成数个间隔设置的开口；该气泵单元包括一个气泵及一个三通电磁阀，该三通电磁阀的其中二个端口分别借由一个管路连通该空气通道及该气泵，而另一个端口与外界大气相连通；该涂布单元用以于该基板上形成一个涂布层；该控制单元电连接该气泵、该三通电磁阀及该涂布单元。

2.根据权利要求1所述的基板涂布装置，其特征在于：该基板涂布装置还包含一个用以将该基板放置或取出于该承载台的吸附区的取放单元。

3.根据权利要求2所述的基板涂布装置，其特征在于：该取放单元包括至少一个用以抓取该基板的机械手臂。

4.根据权利要求1所述的基板涂布装置，其特征在于：该基板涂布装置还包含一个包括一个涂布起始传感器及一个涂布结束传感器的感测单元，该涂布单元沿着一个涂布路径对该基板进行涂布以形成该涂布层，该涂布起始传感器及该涂布结束传感器分别设置于邻近该涂布路径的起始端及结束端处。

5.根据权利要求1所述的基板涂布装置，其特征在于：该承载台还包括数个间隔设置于该吸附区且电连接该控制单元的顶针，所述顶针可向上凸伸于该吸附区的表面外，也可向下缩藏于该吸附区的表面下。