[实用新型]基板涂布装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种涂布装置，特别是涉及一种基板涂布装置。

背景技术

参阅图1、图2及图3，现有的一种基板涂布装置1主要包含一个承载台11、一个取放单元12、一个气泵13、一个涂布单元14及一个控制单元15。该承载台11包括一个供一个基板10设置的吸附区111及至少一个空气通道112，该空气通道112于该吸附区111的表面形成数个间隔设置的开口113。该取放单元12用以将该基板10放置或取出于该承载台11的吸附区111。该气泵13借由一个管路16连通该空气通道112。该涂布单元14用以于该基板10上形成一个涂布层17。该控制单元15电连接该取放单元12、该气泵13及该涂布单元14。

上述基板涂布装置1的涂布流程为：经由该控制单元15控制该取放单元12将一个基板10置放于该承载台11的吸附区111后，该控制单元15控制该气泵13对于该承载台11的空气通道112进行抽气，使得该空气通道112的空气压力小于外界空气压力，借此，该基板10通过所述开口113受该空气通道112吸附而固定于该承载台11的吸附区111；接着，该控制单元15控制该涂布单元14于该基板10上形成一个涂布层17；之后，该控制单元15控制该气泵13停止对于该通气通道112抽气而转为进行供气，使得该空气通道112的空气压力大于外界空气压力，借此，该基板10通过所述开口113受该空气通道112的空气压力向外推而不被吸附固定于该承载台11的吸附区111；最后，该控制单元15控制该取放单元12将形成有该涂布层17的基板10取出该承载台11的吸附区111。

在该基板10形成该涂布层17的过程中，该气泵13是持续对该空气通道112进行抽气，该基板10则持续受该空气通道112的所述开口113所产生的吸附力的吸附(该基板10的底面非整面均匀受力，则是对应所述开口113的部分区域受到吸附力)。通常该基板10的厚度约几百微米厚而具有延展性且易变形，因此该基板10在上述非均匀的受力下会产生暂时形变，进而造成形成于其上的涂布层17厚度不均匀。除此之外，由于存在于该基板10的底面与该吸附区111的表面间的微粒(particle)(图未示)呈单点顶撑该基板的底面，在该基板10受到所述开口113强大的负压吸力时，该基板10因具有延展性则顺应该微粒突起弯曲(bending)，因此也会造成形成于其上的涂布层17厚度不均匀。

在现今微纳米制程条件需求下，该涂布层17的厚度均匀控制更是锱铢必较，因此如何在该涂布层17形成过程中尽可能排除造成该涂布层17厚度不均匀的因素是业界共同努力的目标。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种涂布层厚度均匀的基板涂布装置。

本实用新型基板涂布装置，包含一个承载台、一个气泵单元、一个涂布单元，及一个控制单元。

该承载台包括一个供一个基板设置的吸附区及至少一个空气通道。该空气通道于该吸附区的表面形成数个间隔设置的开口。

该气泵单元包括一个气泵及一个三通电磁阀。该三通电磁阀的其中二个端口分别借由一个管路连通该空气通道及该气泵，另一个端口与外界大气相连通。

该涂布单元用以于该基板上形成一个涂布层。

该控制单元电连接该气泵、该三通电磁阀及该涂布单元。

较佳地，该基板涂布装置还包含一个用以将该基板放置或取出于该承载台的吸附区的取放单元。

较佳地，该取放单元包括至少一个用以抓取该基板的机械手臂。

较佳地，该基板涂布装置还包含一个包括一个涂布起始传感器及一个涂布结束传感器的感测单元，该涂布单元沿着一个涂布路径对该基板进行涂布以形成该涂布层，该涂布起始传感器及该涂布结束传感器分别设置于邻近该涂布路径的起始端及结束端处。

较佳地，该承载台还包括数个间隔设置于该吸附区且电连接该控制单元的顶针，所述顶针可向上凸伸于该吸附区的表面外，也可向下缩藏于该吸附区的表面下。

本实用新型的有益效果在于：借由该气泵单元的三通电磁阀及气泵相配合来达到将该基板固定于该承载台的吸附区，主要是先对于该空气通道进行抽气，借此，该基板吸附固定于该承载台的吸附区，接着再使得该空气通道的空气压力等于外界的空气压力，由于在抽气过程中，流动空气摩擦该基板及该吸附区而分别于该基板及该吸附区形成不同电性的电荷累积，然而该基板可借由上述累积电荷所形成的静电吸引力固定于该吸附区，然而该基板是均匀受静电力而固定于该吸附区，因此不会造成该基板的变形，进而使得形成于该基板上的涂布层厚度是均匀的。

附图说明