[实用新型]一种区熔晶体生长用保温装置及区熔炉有效
申请号: | 201320627238.8 | 申请日: | 2013-10-11 |
公开(公告)号: | CN203593807U | 公开(公告)日: | 2014-05-14 |
发明(设计)人: | 冷先锋;王楠 | 申请(专利权)人: | 北京京运通科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B13/00 | 分类号: | C30B13/00 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100176 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 保温 装置 熔炉 | ||
1.一种区熔晶体生长用保温装置,其特征在于,包括:
金属环(1);
套于所述金属环(1)外侧并与所述金属环(1)导热接触的水管(2);
套于所述金属环(1)内侧并与所述金属环(1)导热接触的保温罩(3),所述保温罩(3)的导热率小于所述金属环(1)的导热率。
2.如权利要求1所述的区熔晶体生长用保温装置,其特征在于,所述保温罩(3)为筒状保温罩,所述筒状保温罩的一端具有翻向外侧的外沿(31),并且所述外沿(31)与所述金属环(1)搭接。
3.如权利要求2所述的区熔晶体生长用保温装置,其特征在于,所述筒状保温罩高度范围为200~260毫米,所述筒状保温罩的外径范围为220~280毫米。
4.如权利要求1所述的区熔晶体生长用保温装置,其特征在于,所述金属环(1)为铜环。
5.如权利要求1所述的区熔晶体生长用保温装置,其特征在于,所述保温罩(3)为陶瓷保温罩。
6.如权利要求5所述的区熔晶体生长用保温装置,其特征在于,所述陶瓷保温罩为石英保温罩。
7.如权利要求1~6任一项所述的区熔晶体生长用保温装置,其特征在于,所述金属环(1)与所述水管(2)焊接。
8.一种区熔炉,包括可升降的传动装置,其特征在于,还包括如权利要求1-7任一项所述的区熔晶体生长用保温装置,所述区熔晶体生长用保温装置的水管(2)固定于所述传动装置。
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