[实用新型]晶片装配系统有效
申请号: | 201320629015.5 | 申请日: | 2013-10-12 |
公开(公告)号: | CN203491228U | 公开(公告)日: | 2014-03-19 |
发明(设计)人: | 黄太宏 | 申请(专利权)人: | 四川蓝彩电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/68;H01L21/677 |
代理公司: | 成都金英专利代理事务所 51218 | 代理人: | 袁英 |
地址: | 629000 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶片 装配 系统 | ||
1.晶片装配系统,其特征在于:它包括引线纵向平移组件、引线横向平移组件、工作台运动组件、晶片盘定位组件、晶片盘X轴平移组件、晶片盘Y轴平移组件和晶片装取机械手(13),工作台运动组件包括工作台安装基座(1)、工作台面(2)和工作台固定架,工作台面(2)通过多根工作台固定架固定安装在工作台安装基座(1)上,在工作台安装基座(1)上设有引线横向平移组件,引线横向平移组件安装在工作台固定架a(3)与工作台固定架b(4)之间,引线横向平移组件包括引线横向平移基座(5)、引线横向平移滑块(6)、引线横向平移丝杆(7)和引线横向平移驱动电机(9),引线横向平移驱动电机(9)安装在工作台固定架b(4)外侧,引线横向平移基座(5)固定在工作台安装基座(1)上,引线横向平移基座(5)上安装有引线横向平移滑块(6),引线横向平移滑块(6)顶端设置有引导引线横向平移的顶针,引线横向平移丝杆(7)一端通过联轴器(8)连接引线横向平移驱动电机(9),另一端穿过引线横向平移滑块(6)固定在工作台固定架a(3)上;
在工作台安装基座(1)下方安装有引线纵向平移组件,引线纵向平移组件包括引线纵向平移基座(10)、引线纵向平移驱动电机(11)和引线纵向平移滑轨(12),引线纵向平移基座(10)的上表面设有引线纵向平移滑轨(12),工作台安装基座(1)与引线纵向平移基座(10)之间通过引线纵向平移滑轨(12)活动连接,引线纵向平移基座(10)一端固定有引线纵向平移驱动电机(11);
在工作台运动组件的一侧分别设有晶片装取机械手(13)、晶片盘定位组件、晶片盘X轴平移组件和晶片盘Y轴平移组件,晶片盘Y轴平移组件包括Y轴安装基座(25)、Y轴滑轨(30)、与Y轴滑轨(30)相匹配的Y轴滑块(26)、Y轴驱动电机(28)、Y轴丝杆(29)、与Y轴丝杆(29)相匹配的Y轴丝杆螺母(27),两根Y轴滑轨(30)分别设置在Y轴安装基座(25)上,Y轴丝杆螺母(27)固定在Y轴滑块(26)上,Y轴驱动电机(28)安装在Y轴安装基座(25)的一端,Y轴丝杆(29)一端与Y轴驱动电机(28)相连,另一端穿过Y轴丝杆螺母(27)固定在Y轴安装基座(25)的另一端;晶片盘X轴平移组件包括X轴驱动电机(18)、X轴丝杆(19)、与X轴丝杆(19)相匹配的X轴丝杆螺母(20)、X轴安装基座(21)、X轴滑轨(23)、与X轴滑轨(23)相匹配的X轴滑块(24)和晶片盘连接托板(22),X轴安装基座(21)设置在Y轴安装基座(25)的上端,并通过Y轴滑块(26)与Y轴安装基座(25)活动连接,两根X轴滑轨(23)分别设置在X轴安装基座(21)上,X轴丝杆螺母(20)固定在X轴滑块(24)上,X轴驱动电机(18)安装在X轴安装基座(21)的一端,X轴丝杆(19)一端与X轴驱动电机(18)相连,另一端穿过X轴丝杆螺母(20)固定在X轴安装基座(21)的另一端,在X轴滑块(24)顶端固定安装有晶片盘连接托板(22),晶片取出盘(17)安装在晶片盘连接托板(22)端面上;
晶片盘定位组件包括晶片盘固定支座(14)、晶片顶柱(16)和晶片顶柱驱动电机(15),晶片顶柱驱动电机(15)安装在晶片盘固定支座(14)内,晶片盘固定支座(14)上固定有晶片顶柱(16),晶片取出盘(17)罩在晶片盘定位组件上端。
2.根据权利要求1所述的晶片装配系统,其特征在于:所述的引线纵向平移基座(10)的两侧设有滑槽,工作台安装基座(1)通过滑槽与引线纵向平移基座(10)活动连接。
3.根据权利要求1所述的晶片装配系统,其特征在于:所述的晶片顶柱(16)上端设有晶片顶针,晶片顶针周围设有多个负压孔。
4.根据权利要求1所述的晶片装配系统,其特征在于:所述的晶片取出盘(17)中央为囊膜,待装配的晶片吸附在囊膜上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造