[实用新型]具有传感器设备的丝锯装置

权利要求书

1.一种用于锯切半导体工件(102；104；106；108)的丝锯装置(200；300；400；500；600)，其特征在于，所述丝锯装置包括： 

用于接收绕线管(250；350；450；550；650；651)的绕线管接收设备(210；310；410；510)，所述绕线管在所述绕线管的每一端包括绕线管凸缘(260,270；360,370；460,470；560,570；660,670；661；671)；和 

传感器设备(220；320；420；520；620)，所述传感器设备用于测量至少一个所述绕线管凸缘(260,270；360,370；460；470；560,570；660,670；661；671)的操作状态。 

2.如权利要求1所述的丝锯装置，其中所述丝锯装置(200；300；400；500；600)进一步包括移动单元(325；625)，且其中所述传感器设备(320；620)的至少一部分被安装到所述移动单元。 

3.如权利要求2所述的丝锯装置，其中所述移动单元是可伸缩臂。 

4.如权利要求1所述的丝锯装置，其中所述传感器设备(220；320；420；520；620)被配置为用于测量至少一个所述绕线管凸缘(260,270；360,370；460,470；560,570；660,670；661；671)的形状和位置的至少一个。 

5.如权利要求1所述的丝锯装置，其中所述传感器设备(220；320；420；520；620)被配置为用于测量包括由以下项组成的群组的至少一项的操作状态：在所述绕线管(250；350；450；550；650；651)的至少一个所述凸缘(260,270；360,370；460；470；560,570；660,670；661；671)和所述绕线管接收设备(210；310；410；510)的表面(216；316；416；516；616；618)之间的距离、在一个绕线管(250；350；450；550；650；651)的所述两个凸缘(260,270；360,370；460；470；560,570；660,670；661；671)之间的距离，和至少一个所述绕线管凸缘(260,270；360,370；460；470；560,570；660,670；661；671)的形变。 

6.如权利要求2所述的丝锯装置，其中所述所述传感器设备(220；320；420；520；620)被配置为用于测量包括由以下项组成的群组的至少一项的操作状态：在所述绕线管(250；350；450；550；650；651)的至少一个所述凸缘(260,270；360,370；460；470；560,570；660,670；661；671)和所述绕线管接收设备(210；310；410；510)的表面(216；316；416；516；616；618)之间的距离、在一个绕线管(250；350；450；550；650；651)的所述两个凸缘(260,270；360,370；460；470；560,570；660,670；661；671)之间的距离，和至少一个所述绕线管凸缘(260,270；360,370；460；470；560,570；660,670； 661；671)的形变。 

7.如权利要求1、2、4、5或6中的任一项所述的丝锯装置，其中所述绕线管接收设备包括第一绕线管接收部和第二绕线管接收部，所述第一绕线管接收部用于接收提供丝线的馈线管(650)，所述第二绕线管接收部用于接收收纳所述丝线的卷线管(651)，且其中所述传感器设备(220；320；420；520；620)被配置为用于测量所述馈线管(650)的至少一个所述绕线管凸缘(660；670)的所述操作状态，且测量所述卷线管(651)的至少一个所述绕线管凸缘(661；671)的所述操作状态。 

8.如权利要求7所述的丝锯装置，其中所述传感器设备(220；320；420；520；620)包括至少一个第一传感器(621；626)和至少一个第二传感器(622；627)，所述至少一个第一传感器(621；626)适合于测量所述馈线管(650)的所述操作状态，且所述至少一个第二传感器(622；627)用于测量所述卷线管(651)的所述操作状态。