[实用新型]具有传感器设备的丝锯装置

说明书

技术领域

本实用新型的实施方式涉及丝锯装置。本实用新型的实施方式特别涉及具有传感器设备的丝锯装置，且本实用新型的实施方式具体地说涉及具有用于监控丝锯操作的传感器设备的丝锯。 

背景技术

丝锯被用于从诸如硅的一块硬质材料切割块或砖、薄片，例如，半导体晶片。例如，使用丝锯将工件或锭料切割或晶片化以便切料、裁方或切片。在所述丝锯中，丝线被缠绕在两个绕线管上。一个绕线管用于新的丝线且用于馈送丝线到切割区。用于已使用的丝线的第二绕线管是在丝锯装置中，以便卷绕来自切割区的丝线。来自馈线管的丝线通过丝线导向器被导向到切割区，在所述切割区中，丝线切断各个工件，例如以便形成薄片。在切割工艺之后，丝线再次被丝线导向器导向。丝线被导引到卷线管，已使用的丝线缠绕在所述卷线管上。 

在退绕工艺期间，随着丝线从绕线管逐层退绕，丝线离开绕线管的位置沿着轴向而变化。丝线从绕线管的一侧到绕线管的另一侧(即，凸缘到凸缘)交替移动。因此，丝线在丝线的缠绕和退绕期间通过行进单元有规则地布置在绕线管上。行进单元横向于绕线管的轴线移动丝线。 

然而，在切割工艺期间，或在缠绕(退绕)工艺期间的不规则性可导致丝线断裂，所述不规则性如绕线管上的摩擦、振动、丝线扭曲、错误的操作设置和行进单元故障等等。如果丝线断裂，那么机器停止，且必须修复丝锯，并且机器必须在再次准备用于操作之前重新设置。切割工艺的中断和对于重新设置丝锯所需的时间影响丝锯的生产率。 

鉴于上文，本实用新型的目的是提供克服本技术领域中的至少一些问题的丝锯和用于操作丝锯的方法。 

实用新型内容

鉴于上文，本实用新型提供了如独立权利要求所述的丝锯和用于测量丝锯中的操作状态的方法。本实用新型的进一步方面、优点和特征是从附属权利要求、描述和附图中显而易见。 

根据一个实施方式，提供了用于锯切半导体工件的丝锯装置。丝锯装置包括用于接收绕线管的绕线管接收设备，所述绕线管在绕线管的每一端包括绕线管凸缘。丝锯装置进一步包括传感器设备，所述传感器设备用于测量至少一个所述绕线管凸缘的操作状态。 

根据一个示例，提供了用于测量锯切半导体工件的丝锯装置的操作状态的方法。丝锯装置包括用于接收绕线管的绕线管接收设备，所述绕线管在绕线管的每一端包括一个凸缘。所述方法包括通过传感器设备测量至少一个所述绕线管凸缘的操作状态。 

根据进一步示例，提供了用于操作锯切半导体工件的丝锯装置的方法。所述方法包括从绕线管提供用于锯切半导体工件的丝线，所述绕线管在绕线管的每一端包括绕线管凸缘。所述方法进一步包括测量至少一个所述绕线管凸缘的操作状态。 

实施方式还针对用于进行所公开的方法的设备且包括用于进行各所描述的方法步骤的设备元件。这些本文所述的方法步骤可经由硬件元件、通过适当软件编程的计算机，或通过所述两者的任何组合或以任何其他方式进行。 

附图说明

因此，以可详细地理解本实用新型的上述特征的方式，可参考实施方式获得上文简要总结的本实用新型的更特定描述。附图涉及本实用新型的实施方式且附图描述在下文中： 

图1图示丝锯的示意图，所述丝锯中可使用根据本文所述的实施方式的丝锯装置； 

图2图示根据本文所述的实施方式的丝锯装置和丝锯装置的绕线管的示意侧视图； 

图3图示图2中所示的丝锯装置的示意前视图； 

图4图示根据本文所述的实施方式的丝锯装置和安装到丝锯装置的绕线管的示意侧视图； 

图5图示图4中所示的丝锯装置的示意前视图； 

图6图示根据本文所述的实施方式的丝锯装置和安装到丝锯装置的绕线管的示意侧视图； 

图7图示根据本文所述的实施方式的包括传感器设备的绕线管设备的示意侧视图； 

图8图示根据本文所述的实施方式的丝锯装置和安装到丝锯装置的绕线管的示意侧视图； 

图9图示根据本文所述的实施方式的包括传感器设备的绕线管设备的示意侧视图； 

图10图示根据本文所述的实施方式的包括传感器设备的绕线管设备的示意侧视图； 

图11图示根据本文所述的实施方式的丝锯装置的示意图； 

图12图示根据本文所述的实施方式的丝锯装置和安装到丝锯装置的绕线管的示意侧视图； 

图13图示图12中所示的丝锯装置的示意前视图； 

图14图示根据本文所述的实施方式的丝锯装置的示意侧视图；