[实用新型]一种用于金属有机化学气相沉积设备的喷雾器

权利要求书

1.一种用于金属有机化学气相沉积设备的喷雾器，它包含上盖(1)、箱体(2)、进水管(3)、出水管(4)、进气管一(5)、进气管二(6)、进气室一(7)、进气室二(8)、反应室(9)，其特征在于：它还包含螺纹管道(10)、喷射管(11)、支柱(12)、传感器(13)、导流板(14)，箱体(2)的上端安装有上盖(1)，箱体(2)的两端分别安装有进水管(3)、出水管(4)，上盖(1)上安装有进气管一(5)、进气管二(6)，气管一(5)、进气管二(6)分别与进气室一(7)、进气室二(8)连接，进气室一(7)、进气室二(8)的下端安装有反应室(9)，反应室(9)的下端安装有支柱(12)，支柱(12)上安装有传感器(13)，箱体(2)的底部安装有导流板(14)，箱体(2)的内壁设置有螺纹管道(10)，螺纹管道(10)上安装有喷射管(11)。

2.根据权利要求1所述的一种用于金属有机化学气相沉积设备的喷雾器，其特征在于：所述的螺纹管道(10)为逆向螺旋缠绕螺纹管道。

3.根据权利要求1所述的一种用于金属有机化学气相沉积设备的喷雾器，其特征在于：所述的导流板(14)上设置有导流槽。

4.根据权利要求1所述的一种用于金属有机化学气相沉积设备的喷雾器，其特征在于：所述的传感器(13)为重量传感器。