[实用新型]一种用于金属有机化学气相沉积设备的喷雾器

说明书

技术领域：

本实用新型涉及一种用于金属有机化学气相沉积设备的喷雾器，属于有机化学技术领域。

背景技术：

有机化学又称为碳化合物的化学，是研究有机化合物的结构、性质、制备的学科，是化学中极重要的一个分支。含碳化合物被称为有机化合物是因为以往的化学家们认为含碳物质一定要由生物（有机体）才能制造；然而在1828年的时候，德国化学家弗里德里希·维勒，在实验室中成功合成尿素（一种生物分子），自此以后有机化学便脱离传统所定义的范围，扩大为含碳物质的化学。

在真空状态下制备半导体材料需要将不同反应气体分别送入反应室，由于反应气体的性质特殊，在送入反应室之前反应气体必须分层隔离且需要冷却，在将不同气体送入反应室后，又要求反应气体在衬底表面充分均匀混合，因而一般都采用喷雾器装置进行送气。现有的喷雾在送入反应室之前反应气体的冷却效果达不到理想效果，浪费能源，而且冷却排出时浪费时间，降低工作效率。

实用新型内容：

针对上述问题，本实用新型提供一种用于金属有机化学气相沉积设备的喷雾器。

本实用新型的一种用于金属有机化学气相沉积设备的喷雾器，它包含上盖、箱体、进水管、出水管、进气管一、进气管二、进气室一、进气室二、反应室，它还包含螺纹管道、喷射管、支柱、传感器、导流板，箱体的上端安装有上盖，箱体的两端分别安装有进水管、出水管，上盖上安装有进气管一、进气管二，气管一、进气管二分别与进气室一、进气室二连接，进气室一、进气室二的下端安装有反应室，反应室的下端安装有支柱，支柱上安装有传感器，箱体的底部安装有导流板，箱体的内壁设置有螺纹管道，螺纹管道上安装有喷射管。

作为优选，所述的螺纹管道为逆向螺旋缠绕螺纹管道。

作为优选，所述的导流板上设置有导流槽。

作为优选，所述的传感器为重量传感器。

本实用新型的有益效果为：使得冷却水形成湍流，流动时既有纵向扰动，又有旋转运动，彻底破坏了热边界层，并且流体在向前运动过程中连续改变方向，能使得冷却水顺利的流出循环，使用方便，操作简便。

附图说明：

为了易于说明，本实用新型由下述的具体实施及附图作以详细描述。

图1为本实用新型结构示意图。

图中：1-上盖；2-箱体；3-进水管；4-出水管；5-进气管一；6-进气管二；7-进气室一；8-进气室二；9-反应室；10-螺纹管道；11-喷射管；12-支柱；13-传感器；14-导流板。

具体实施方式：

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面通过附图中示出的具体实施例来描述本实用新型。但是应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。

如图1所示，本具体实施方式采用以下技术方案：它包含上盖1、箱体2、进水管3、出水管4、进气管一5、进气管二6、进气室一7、进气室二8、反应室9，它还包含螺纹管道10、喷射管11、支柱12、传感器13、导流板14，箱体2的上端安装有上盖1，箱体2的两端分别安装有进水管3、出水管4，上盖1上安装有进气管一5、进气管二6，气管一5、进气管二6分别与进气室一7、进气室二8连接，进气室一7、进气室二8的下端安装有反应室9，反应室9的下端安装有支柱12，支柱12上安装有传感器13，箱体2的底部安装有导流板14，箱体2的内壁设置有螺纹管道10，螺纹管道10上安装有喷射管11。

进一步的，所述的螺纹管道10为逆向螺旋缠绕螺纹管道。

进一步的，所述的导流板14上设置有导流槽。

进一步的，所述的传感器13为重量传感器。

本具体实施方式的工作原理为：采用螺纹管道10传输，使得冷却水形成湍流，流动时既有纵向扰动，又有旋转运动，彻底破坏了热边界层，并且流体在向前运动过程中连续改变方向，导流板14能使得冷却水顺利的流出循环，传感器13能看出反应的重量的数值，使用方便，操作简便。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。