[实用新型]一种扩散设备

权利要求书

1.一种扩散设备，包括用于盛放扩散用源液的源瓶(1)、气源和扩散炉，所述源瓶(1)和所述气源通过进气管(2)连通，所述源瓶(1)和所述扩散炉通过出气管(3)连通，其特征在于，还包括补液部件和液位检测部件，所述液位检测部件用于检测所述源瓶(1)内所述源液的实际液位，所述源瓶中所述源液的实际液位低于预设液位，所述补液部件为所述源瓶(1)补充所述源液。

2.根据权利要求1所述的扩散设备，其特征在于，所述补液部件包括补液瓶(4)和输液管(5)，所述液位检测部件为通气管(6)；所述补液瓶(4)位于所述源瓶(1)的上方，所述输液管(5)的一端位于所述补液瓶(4)内所述源液的实际液位以下，另一端位于所述源瓶(1)内所述源液的实际液位以下，所述通气管(6)的一端位于所述补液瓶(4)内所述源液的液位以上，另一端位于所述源瓶(1)内所述预设液位处。

3.根据权利要求2所述的扩散设备，其特征在于，所述输液管(5)位于所述补液瓶(4)中端口与所述补液瓶(4)的底端上表面平齐。

4.根据权利要求2或3所述的扩散设备，其特征在于，所述通气管(6)位于所述补液瓶(4)一端的上端口靠近所述补液瓶(4)的顶端。

5.根据权利要求2所述的扩散设备，其特征在于，所述输液管(5)和所述通气管(6)中至少一者包括两段刚性管，两段所述刚性管通过柔性管连通，所述输液管(5)和／或所述通气管(6)通过两段所述刚性管中一者与所述补液瓶(4)连通，另一者与所述源瓶(1)连通。

6.根据权利要求5所述的扩散设备，其特征在于，所述柔性管为耐酸性柔性管。