[实用新型]一种扩散设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及扩散设备技术领域，特别涉及一种扩散设备，该扩散设备主要用于加工太阳能电池片。

背景技术

太阳能电池片的加工工艺流程包括制绒、扩散、湿法刻蚀、镀膜和丝网印刷等，其中，扩散工艺的主要目的在于进行磷掺杂，形成P-N结。

扩散工艺在扩散设备内进行，现结合图1来说明现有扩散设备的结构示意图。由图1可知，扩散设备主要包括气源1′、源瓶2′和扩散炉3′，源瓶2′通过进气管4′与气源1′连通，通过出气管5′与扩散炉3′连通。扩散用源液存放在源瓶2′中，携带气体经由源瓶2′通过，与此同时携带一定量的源液至扩散炉3′管内进行扩散工艺。为了便于更好地理解源瓶、进气管和出气管的具体结构及连接方式，请一并参考图2和图3，其中，图2示出了图1中所示扩散设备的源瓶、进气管和出气管装配体的结构示意图，图3示出了图2中所示装配体的俯视示意图。

经扩散工艺处理后的硅片的质量控制参数为方阻，方阻与携带气体所携带的源液量有着密切的联系，而携带气体携带的源液量又受源瓶2′中的源液量限制。随着生产的不断进行源瓶2′中的源液量不断减少，势必造成携带气体携带的源液量的不断减少，这样将会造成产品的方阻值不均匀，进而影响到太阳能电池片成品的电性能。

有鉴于此，本领域技术人员亟待对现有扩散设备结构进行改进，以保证源瓶内源液量基本保持恒定，从而提高太阳能电池片的方阻均匀性，进而提高太阳能电池片的电性能。

实用新型内容

针对上述缺陷，本实用新型的核心目的在于，提供一种用于加工太阳能电池片的扩散工艺的扩散设备，以保证源瓶内源液量基本保持恒定，从而提高太阳能电池片方阻的均匀性，进而优化太阳能电池的电性能。

本实用新型所提供的一种扩散设备，包括用于盛放扩散用源液的源瓶、气源和扩散炉，所述源瓶和所述气源通过进气管连通，所述源瓶和所述扩散炉通过出气管连通，还包括补液部件和液位检测部件，所述液位检测部件用于检测所述源瓶内所述源液的实际液位，所述源瓶中所述源液的实际液位低于预设液位，所述补液部件为所述源瓶补充所述源液。

优选地，所述补液部件包括补液瓶和输液管，所述液位检测部件为通气管；所述补液瓶位于所述源瓶的上方，所述输液管的一端位于所述补液瓶内所述源液的实际液位以下，另一端位于所述源瓶内所述源液的实际液位以下，所述通气管的一端位于所述补液瓶内所述源液的液位以上，另一端位于所述源瓶内所述预设液位处。

优选地，所述输液管位于所述补液瓶中端口与所述补液瓶的底端上表面平齐。

优选地，所述通气管位于所述补液瓶一端的上端口靠近所述补液瓶的顶端。

优选地，所述输液管和所述通气管中至少一者包括两段刚性管，两段所述刚性管通过柔性管连通，所述输液管和／或所述通气管通过两段所述刚性管中一者与所述补液瓶连通，另一者与所述源瓶连通。

优选地，所述柔性管具体为耐酸性柔性管。

本实用新型所提供的一种扩散设备，包括用于盛放扩散用源液的源瓶、气源和扩散炉，源瓶和气源通过进气管连通，源瓶和扩散炉通过出气管连通，还包括补液部件和液位检测部件，液位检测部件用于检测所述源瓶内所述源液的实际液位，所述源瓶内所述源液的实际液位低于预设液位，补液部件为源瓶补充源液。

与现有技术相比，本方案所提供的扩散装置在原有源瓶的基础上，引入了补液部件和液位检测部件，当源瓶内实际液位低于预设液位时，由补液部件向源瓶补充源液直至源液实际液位升高至预设液位，将源瓶内源液的实际液位控制基本上与预设液位平齐，以保证携带气体内的源液量基本恒定，从而实现提高太阳能电池片方阻的均匀性的目的。

本实用新型的一优选方案中，补液部件包括补液瓶和输液管，液位检测部件为通气管；补液瓶位于源瓶的上方，输液管的一端位于补液瓶内源液的实际液位以下，另一端位于源瓶内源液的实际液位以下，通气管的一端位于补液瓶内源液的液位以上，另一端位于源瓶内预设液位处。

当源瓶内源液的实际液位与预设液位平齐时，通气管上位于源瓶内一端封闭，补液瓶内位于源液实际液位以上空间内压强恒定，补液瓶内源液停止流动；当源瓶内源液的实际液位低于预设液位时，通气管上位于源瓶内一端开启，补液瓶内位于源液实际液位以上空间内压强增大，在该压强作用下补液瓶内源液由输液管流动至源瓶，直至源瓶内实际液位与预设液位平齐。