[实用新型]一种除尘风橱有效
| 申请号： | 201320656243.1 | 申请日： | 2013-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN203592408U | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 郭金娥;徐信富;徐力;陈兴邦 | 申请（专利权）人： | 洛阳市鼎晶电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24C9/00 | 分类号： | B24C9/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 471003 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 除尘 | ||
【权利要求书】：
1.一种除尘风橱，用于硅片背面干法喷砂制造吸杂源以消除硅抛光表面氧化雾，其特征在于：所述除尘风橱为密闭式风橱，设置于硅片传送带的上方，并且由所述硅片传送带的上方向下延伸至所述硅片传送带的上表面；在所述除尘风橱内设有金刚砂喷嘴。
2.根据权利要求1所述的除尘风橱，其特征在于其中在所述除尘风橱的顶部设有通孔，所述除尘风橱通过所述通孔与粉尘收集装置通过管道连通。
3.根据权利要求2所述的除尘风橱，其特征在于其中在所述除尘风橱正对所述金刚砂喷嘴的一面上设有可观察硅片背面金刚砂喷射打毛情况的有机玻璃门。
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