[实用新型]快门装置以及光刻设备

权利要求书

1.一种光刻设备的快门装置，其特征在于，所述快门装置具有一使光束通过的光通道，以及围绕第一转轴旋转的一第一叶片，其中，所述第一转轴位于所述光通道旁，所述第一叶片具有第一静止位置以及第二静止位置，所述第一叶片位于所述第一静止位置时，所述光束完全通过所述光通道，所述第一叶片位于所述第二静止位置时，所述光束全不通过所述光通道，所述快门装置还具有一可检测所述第一叶片透光性的第一探测器。

2.如权利要求1所述的光刻设备的快门装置，其特征在于，所述第一静止位置位于所述第一转轴背离所述光通道的一侧。

3.如权利要求2所述的光刻设备的快门装置，其特征在于，所述第一探测器位于所述第一转轴背离所述光通道的一侧。

4.如权利要求1-3中任意一项所述的光刻设备的快门装置，其特征在于，所述快门装置具有一控制所述光束通过率的第二叶片，所述第二叶片围绕第二转轴旋转，所述第二叶片具有n个停止位置，所述快门装置还具有一可检测所述第二叶片位置的第二探测器，n为正整数。

5.如权利要求4所述的光刻设备的快门装置，其特征在于，所述快门装置还具有一挡片，所述挡片随所述第二叶片同步围绕所述第二转轴旋转，所述挡片上具有n个互不相同的标记，每一所述标记对应一个所述停止位置，所述第二叶片在每一个所述停止位置，所述第二探测器检测到一个对应的所述标记。

6.如权利要求5所述的光刻设备的快门装置，其特征在于，所述第二叶片具有四个停止位置，所述第二叶片具有第一子叶片、第二子叶片以及第三子叶片，所述第一子叶片、第二子叶片以及第三子叶片的光束通过率互不相同，所述挡片具有四个所述标记，四个所述标记为分别若干图形的排列组合，所述第二探测器检探测所述图形。

7.如权利要求6所述的光刻设备的快门装置，其特征在于，四个所述标记为分别两个图形的排列组合，所述第二探测器具有对应两个所述图形的两个信号探测器。

8.如权利要求4所述的光刻设备的快门装置，其特征在于，所述第一转轴和第二转轴分别位于所述光通道的两侧。

9.如权利要求4所述的光刻设备的快门装置，其特征在于，所述快门装置具有一固定面，所述第一叶片和第二叶片分别通过所述第一转轴和第二转轴旋转固定于所述固定面上。

10.一种光刻设备，其特征在于，所述光刻设备具有如权利要求1-9中任意一项所述的快门装置。