[实用新型]一种晶片吹砂传送装置有效
申请号: | 201320683135.3 | 申请日: | 2013-11-01 |
公开(公告)号: | CN203536395U | 公开(公告)日: | 2014-04-09 |
发明(设计)人: | 郭城;吕明;纪大鹏;赵海玲;徐明星;郭英云 | 申请(专利权)人: | 山东科芯电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 济南日新专利代理事务所 37224 | 代理人: | 李茜 |
地址: | 250200 山东省济南*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶片 传送 装置 | ||
1.一种晶片吹砂传送装置,包括有吹砂机、机架、传送带、凹型圆孔、一组喷枪等,其特征在于:在所述传送带上设置两排以上凹型圆孔,并在其上方设置所述一组喷枪的摆动机构。
2.根据权利要求1所述的一种晶片吹砂传送装置,其特征在于:所述一组喷枪与摆杆固连,所述摆杆与轴承内径固连 ,轴承座与所述机架固连。
3.根据权利要求1或2所述的一种晶片吹砂传送装置,其特征在于:所述一组喷枪的每个喷枪上的砂管与压缩空气管路中心线之间的夹角设置为45°。
4.根据权利要求1所述的一种晶片吹砂传送装置,其特征在于:所述摆动机构是由固定在所述机架上的摆幅连动电机、依次连接的连动盘、三角连杆、连动轴承、连动拉杆Ⅰ、连动拉杆Ⅱ、摆杆组成,所述的连动拉杆Ⅰ与所述连动拉杆Ⅱ铰接,所述连动拉杆Ⅱ的另一端通过连动轴承、三角连杆与所述连动盘铰接。
5.根据权利要求4所述的一种晶片吹砂传送装置,其特征在于:所述三角连杆形状为钝角等腰三角形,并在其两个顶角设置销轴Ⅰ、销轴Ⅱ,所述连动轴承与所述连动拉杆Ⅱ铰接,所述销轴Ⅱ置于所述连动盘的扇形环形槽内。
6.根据权利要求5所述的一种晶片吹砂传送装置,其特征在于:所述销轴Ⅱ设置在所述连动盘偏心的位置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造