[实用新型]蒸镀设备有效
| 申请号： | 201320689762.8 | 申请日： | 2013-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN203530417U | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 赵德江;郭炜;张家奇 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李相雨 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 设备 | ||
1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括蒸发源、蒸汽存储机构以及喷射机构；
所述蒸发源用于提供有机蒸汽；
所述蒸汽存储机构用于存储所述蒸发源提供的有机蒸汽并可控的输入至所述喷射机构；
所述喷射机构用于将输入的有机蒸汽喷射到基板上形成有机镀膜。
2.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸发源为线性蒸发源。
3.根据权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述线性蒸发源包括蒸发容器以及线性加热源。
4.根据权利要求1-3任意一项所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸汽存储机构的输出端设置有用于控制所述有机蒸汽输出流量的流量控制机构。
5.根据权利要求4所述的蒸镀设备，其特征在于，所述流量控制机构为线性调节阀。
6.根据权利要求1-3或5任意一项所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括用于将所述蒸汽存储设备内的有机蒸汽维持在预定温度范围内的控温机构。
7.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述喷射机构包括若干个均匀的将所述有机蒸汽喷射到基板上的喷嘴。
8.根据权利要求1-3、5或7任意一项所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括设置在所述蒸发源与蒸汽存储机构之间的蒸汽输运泵。
9.根据权利要求8所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括用于控制所述蒸镀设备整体温度的加热以及冷凝机构。
10.根据权利要求1-3、5、7或9任意一项所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括用于驱动以及控制所述基板与喷射机构之间的相对运动的伺服驱动机构。
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