[实用新型]蒸镀设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及显示装置制备技术领域，具体涉及一种蒸镀设备。

背景技术

OLED（Organic Light Emitting Diode，有机发光二极管）显示装置由于具有自发光、无需背光模组、对比度以及清晰度高、视角宽、全固化、适用于挠曲性面板、温度特性好、低功耗、响应速度快以及制造成本低等一系列优异特性，已经成为新一代平面显示装置的重点发展方向之一，因此日益受到越来越多的关注。

现有技术中，OLED显示器件的基本结构包括阳极层，功能膜层以及阴极层等；上述功能膜层包括：空穴传输层、有机发光层以及电子传输层等；其中，有机发光层的成膜方法有很多种，包括蒸镀成膜法、分子束外延法、有机化学气相沉积法以及溶胶-凝胶法等；其中，蒸镀成膜法由于具有操作简单、膜厚容易控制、对薄膜的污染小以及易于实现掺杂等优点，现有技术中多采用蒸镀成膜法形成有机发光层等有机功能膜层，即在真空环境下，将有机材料加热使其蒸发（升华），并沉积到目标基板上形成对应的功能膜层。

传统技术中，制备OLED显示器件时通常使用点源式蒸镀设备，但是由于点源式蒸镀设备存在对有机材料的利用率低、蒸镀效率低以及基板面内膜厚分布均匀性差等问题，因此，在高世代OLED产线中，制备OLED显示器件时已经逐渐改为使用线源式蒸镀设备，从而可以提高蒸镀效率以及对有机材料的利用率。但是由于线源式蒸镀设备结构复杂，增加了控制的难度；例如，现有技术中的线源式蒸镀设备通常是将从线性蒸发源蒸发出的有机蒸汽气体直接喷射至目标基板表面，利用晶振片来控制蒸发速率，从而控制蒸镀的速率，但是晶振片使用寿命有限，这样就要求每在工作一段时间后，就必须停止生产，更换晶振片；然而，对于量产线，蒸镀设备需要能够满足稳定、持续的生产，因此，对于如何减少蒸镀设备对晶振片的依赖，提升蒸镀设备连续运作的能力是亟待解决的。

实用新型内容

（一）要解决的技术问题

本实用新型的目的在于提供一种蒸镀设备，用于减少蒸镀设备对晶振片的依赖，提升蒸镀设备的连续运作能力。

（二）技术方案

本实用新型技术方案如下：

一种蒸镀设备，包括蒸发源、蒸汽存储机构以及喷射机构；

所述蒸发源用于提供有机蒸汽；

所述蒸汽存储机构用于存储所述蒸发源提供的有机蒸汽并可控的输入至所述喷射机构；

所述喷射机构用于将输入的有机蒸汽喷射到基板上形成有机镀膜。

优选的，所述蒸发源为线性蒸发源。

优选的，所述线性蒸发源包括蒸发容器以及线性加热源。

优选的，所述蒸汽存储机构的输出端设置有用于控制所述有机蒸汽输出流量的流量控制机构。

优选的，所述流量控制机构为线性调节阀。

优选的，还包括用于将所述蒸汽存储设备内的有机蒸汽维持在预定温度范围内的控温机构。

优选的，所述喷射机构包括若干个均匀的将所述有机蒸汽喷射到基板上的喷嘴。

优选的，还包括设置在所述蒸发源与蒸汽存储机构之间的蒸汽输运泵。

优选的，还包括用于控制所述蒸镀设备整体温度的加热以及冷凝机构。

优选的，还包括用于驱动以及控制所述基板与喷射机构之间的相对运动的伺服驱动机构。

（三）有益效果

本实用新型实施例所提供的蒸镀设备，通过设置蒸汽存储机构，利用蒸汽存储机构将蒸发源提供的有机蒸汽预先存储起来，而不是直接喷射至目标基板，这样，通过调整蒸汽存储机构输出有机蒸汽的流量，即可控制蒸镀的速率，因此，可以有效减少蒸镀设备对晶振片的依赖，增强了蒸镀设备的连续运作能力，为提升OLED显示器件的制备效率提供了有力的技术支持。

附图说明

图1是本实用新型中蒸镀设备的结构示意图。

图中：11：目标基板；12：掩膜板；21：喷嘴；22：真空腔室。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式做进一步描述。以下实施例仅用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。