[实用新型]电子芯片转运盒清洗系统

权利要求书

1.电子芯片转运盒清洗系统，其特征在于：包括从左至右依次设置的超声波清洗槽（10），去离子水喷淋装置，冷风吹干装置以及热风吹干装置，还包括水平设置的悬链（2），所述悬链（2）依次横穿于去离子水喷淋装置，冷风吹干装置以及热风吹干装置设置。

2.根据权利要求1所述的电子芯片转运盒清洗系统，其特征在于：所述去离子水喷淋装置包括壳体A（3），设于壳体A（3）内的水喷头，连接设于壳体A（3）下方的精细循环过滤装置（11），所述水喷头与精细循环过滤装置（11）分别与去离子水提水装置连接。

3.根据权利要求2所述的电子芯片转运盒清洗系统，其特征在于：所述冷风吹干装置包括壳体B（5），连接设于壳体B（5）上方的排风道A（4）以及连接设于壳体B（5）下方的盛水槽（12），所述盛水槽（12）底部设有排水阀。

4.根据权利要求3所述的电子芯片转运盒清洗系统，其特征在于：所述热风吹干装置包括壳体C(7),连接设于壳体C(7)上方的排风道B（6）以及连接设于壳体C(7)下方的加热鼓风装置（13）。

5.根据权利要求4所述的电子芯片转运盒清洗系统，其特征在于：所述悬链（2）横穿壳体A（3），壳体B（5）和壳体C(7)设置。

6.根据权利要求1-5任一所述的电子芯片转运盒清洗系统，其特征在于：所述超声波清洗槽（10）左侧、超声波清洗槽（10）与去离子水喷淋装置之间均设有上料机械手（1）；所述热风吹干装置右侧设有下料机械手（8）。

7.根据权利要求6所述的电子芯片转运盒清洗系统，其特征在于：所述上料机械手（1）和下料机械手（8）上均设有吸盘。

8.根据权利要求6所述的电子芯片转运盒清洗系统，其特征在于：所述超声波清洗槽（10），去离子水喷淋装置，冷风吹干装置以及热风吹干装置的外周设有随行工装循环线（9）。

9.根据权利要求6所述的电子芯片转运盒清洗系统，其特征在于：所述超声波清洗槽（10）内设有传送带（14）。