[实用新型]载台装置及其应用的作业单元

权利要求书

1.一种载台装置，其特征在于，包含有： 

基座； 

至少一承置部件：设于基座上，该承置部件上设有复数个供架置基板的架置部，以及复数个与各架置部间隔设置的间隔槽； 

夹掣部件：在承置部件的架置部分别设有夹爪，并以驱动结构驱动各夹爪夹掣定位基板。 

2.根据权利要求1所述的载台装置，其特征在于，该基座上设有第一承置部件及第二承置部件。 

3.根据权利要求2所述的载台装置，其特征在于，该第一承置部件的顶面设有复数个第一架置部，以及与各第一架置部间隔设置的第一间隔槽，该第二承置部件的顶面设有复数个第二架置部，以及与各第二架置部间隔设置的第二间隔槽。 

4.根据权利要求3所述的载台装置，其特征在于，该第一、二承置部件的各第一、二架置部上分别设有连通抽气管路的气孔。 

5.根据权利要求3所述的载台装置，其特征在于，该第一承置部件的二端处设有限位件。 

6.根据权利要求2所述的载台装置，其特征在于，该第一承置部件与第二承置部件间设有支撑部件。 

7.根据权利要求2所述的载台装置，其特征在于，该第一承置部件与第二承置部件间设有间距控制结构，该间距控制结构是在基座上滑设第二承置部件，并在该第二承置部件连接一具有螺杆及螺套的传动组，该传动组的螺杆再连接一动力源，以驱动螺杆旋转，并经由螺套带动第二承置部件位移，以调整该第二承置部件与二第二承置部件的间距。 

8.根据权利要求1所述的载台装置，其特征在于，该夹掣部件的驱动结构是在至少一承置部件的各架置部一侧枢设有轴杆，以供装设夹爪，该轴杆的端部固设一摆臂，并在该摆臂的摆动端连接一压缸的伸缩杆，以驱动轴杆上的夹爪夹掣定位基板。 

9.根据权利要求8所述的载台装置，其特征在于，该夹掣部件的轴杆与夹爪间设有调整结构，该调整结构是在该轴杆上设有复数道具有凸缘的长槽，并在 该轴杆的长槽内设有锁合件，该夹爪则设有锁固件，以供穿伸锁固于该轴杆的锁合件。 

10.一种作业单元，其特征在于，包含有： 

作业区； 

第一处理装置：设于作业区内； 

第二处理装置：设于作业区内，并与第一处理装置反向配置； 

第一载台装置：是在作业区内设有如权利要求1所述的载台装置，并以该第一载台装置将基板移载至第一处理装置下方，以执行基板正面的处理作业； 

第二载台装置：是在作业区内设有如权利要求1所述的载台装置，该第二载台装置与第一载台装置反向配置，并以该第二载台装置将该第一载台装置上的基板接续移载至第二处理装置上方，以执行基板反面的处理作业。