[实用新型]一种单晶硅棒切割后的恒温水洗脱胶台有效
| 申请号： | 201320723157.8 | 申请日： | 2013-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN203648906U | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 陈吉祥;李竞宇;张建国 | 申请（专利权）人： | 龙岩市华德光电有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 364101 福建省龙岩*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 切割 恒温 水洗 脱胶 | ||
【权利要求书】：
1.一种单晶硅棒切割后的恒温水洗脱胶台，其特征在于：包括箱体和支撑板，所述箱体底部设置有恒温加热棒，所述箱体中部每个侧面上均设置有支撑片，所述支撑片用于在支撑板放入箱体内时，支撑所述支撑板，所述支撑板上具有多个通孔。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒切割后的恒温水洗脱胶台，其特征在于：所述支撑片的个数为两个。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒切割后的恒温水洗脱胶台，其特征在于：所述的箱体横截面为正方形。
4.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒切割后的恒温水洗脱胶台，其特征在于：所述支撑板中心具有一个直径为3cm~6cm的圆孔。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒切割后的恒温水洗脱胶台，其特征在于：所述通孔直径为3mm~10mm。
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