[实用新型]一种单晶硅棒切割后的恒温水洗脱胶台

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶硅棒加工领域，特别指一种单晶硅棒切割后的恒温水洗脱胶台。

背景技术

现有的单晶硅棒恒温脱胶台脱胶时，胶水和碎屑在脱胶后会堆积在脱胶台的底部，长时间会影响后续的脱胶。由于加热棒是裸露的，单晶硅片在放置时有时会太靠近加热棒使得脱胶温度不均，影响脱胶效果。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题，在于提供一种单晶硅棒切割后的恒温水洗脱胶台，解决现有恒温脱胶台胶水和碎屑堆积以及脱胶温度不均的问题。

本实用新型是这样实现的：

一种单晶硅棒切割后的恒温水洗脱胶台，包括箱体和支撑板，所述箱体底部设置有恒温加热棒，所述箱体中部每个侧面上均设置有支撑片，所述支撑片用于在支撑板放入箱体内时，支撑所述支撑板，所述支撑板上具有多个通孔。

进一步地，所述支撑片的个数为两个。

进一步地，所述的箱体横截面为正方形。

进一步地，所述支撑板中心具有一个直径为3cm~6cm的圆孔。

进一步地，所述通孔直径为3mm~10mm。

本实用新型的优点在于：胶水和碎屑会通过通孔掉落到脱胶台内部，不会影响后续脱胶，由于支撑板支撑使得单晶硅片不会靠近加热棒，从而使得脱胶温度均匀。

附图说明

下面参照附图结合实施例对本实用新型作进一步的说明。

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示，一种单晶硅棒切割后的恒温水洗脱胶台，包括箱体1和支撑板2，箱体1底部设置有恒温加热棒3，箱体1中部每个侧面上均设置有支撑片4，支撑片4用于在支撑板2放入箱体1内时，支撑着支撑板2，支撑板2上具有多个通孔20。由于具有多个通孔20，本实用新型在脱胶时，胶水和碎屑等残渣会掉落到箱体1的底部，而不会在支撑板2上堆积，则不会影响下一次的脱胶。当胶水和碎屑堆积到一定量时，可以集中清理。也可以在箱体1的底部设置一个排渣孔，在清理时排出残渣。同时由于恒温加热棒3在箱体1底部而支撑板2在箱体1中部，两者会间隔一定距离，支撑板2上的切割后的单晶硅棒（即单晶硅片）不会直接接触到恒温加热棒3，而是通过水进行热传递，使得单晶硅棒受热均匀。

过多的支撑片4使得制作相对麻烦，但是每个侧面只设置一个支撑片4又会造成支撑板容易倾斜，则支撑片的个数为两个最为适当。

优选的箱体1横截面为正方形，则支撑板2在放入时不用考虑方向。支撑板2横截面形状应和箱体1的横截面形状相同，但是支撑板2的各边应略小于箱体1的相应的内边长，以便于支撑板2的放入。

为了方便支撑板2的取出，在支撑板2的中心设有一个直径为3cm~6cm的圆孔21。这样的圆孔21直接用手指即可将支撑板2从中间拿起，快速方便。

优选的通孔20直径为3mm~10mm。太小的通孔不利于残渣的掉落，太大的通孔又会对支撑板2的强度造成影响。 

以上所述实施方式，只是本实用新型的较佳实施方式，并非来限制本实用新型实施范围，故凡依本实用新型申请专利范围所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰，均应包括本实用新型专利申请范围内。