[实用新型]一种真空镀膜机的蒸发舟有效
| 申请号： | 201320723278.2 | 申请日： | 2013-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN203613256U | 公开（公告）日： | 2014-05-28 |
| 发明（设计）人： | 王先玉;夏永光 | 申请（专利权）人： | 浙江星星瑞金科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 台州市方圆专利事务所 33107 | 代理人： | 蔡正保;朱新颖 |
| 地址： | 318015 浙江省台*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 蒸发 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空镀膜机的蒸发舟，本蒸发舟包括舟体(1)和位于舟体(1)两端的电极(2)，其特征在于，所述舟体(1)上具有辅助加热片(3)，上述辅助加热片(3)与舟体(1)形成用于放置蒸发原料的容纳空间(11)，所述辅助加热片(3)底部部分或者全部与所述舟体(1)相连，所述舟体(1)和辅助加热片(3)均采用导电材料制成。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜机的蒸发舟，其特征在于，所述舟体(1)和辅助加热片(3)采用一体式结构，所述辅助加热片(3)为舟体(1)一侧或者两侧边材料的两端部剪开并向内弯折而成。
3.根据权利要求1或2所述的真空镀膜机的蒸发舟，其特征在于，所述舟体(1)采用高熔点的金属材料制成。
4.根据权利要求3所述的真空镀膜机的蒸发舟，其特征在于，所述舟体(1)采用金属钨或者钛合金制成。
5.根据权利要求1所述的真空镀膜机的蒸发舟，其特征在于，所述辅助加热片(3)呈封闭的环状结构，所述辅助加热片(3)具有卡接块，所述舟体(1)上具有与上述卡接块位置和形状一一对应的卡接孔，所述辅助加热片(3)卡接定位在舟体(1)上。
6.根据权利要求5所述的真空镀膜机的蒸发舟，其特征在于，所述舟体(1)和辅助加热片(3)分别采用高熔点的金属材料制成。
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