[实用新型]一种真空镀膜机的蒸发舟

说明书

技术领域

本实用新型属于机械技术领域，涉及一种真空镀膜机，特别是一种真空镀膜机的蒸发舟。

背景技术

真空镀膜机是指在较高真空度下对工件进行镀膜加工的设备。真空镀膜机包括蒸发源，现有的蒸发型真空镀膜机通常采用在蒸发舟两端接入电极作为蒸发源。

现有技术中的蒸发舟的结构，例如，中国专利【申请号200720094316.7；公开号CN201132847Y】背景技术中记载的一种现有蒸发舟的结构，在电极的中间有一个凹坑，就在这个凹坑中加上所要蒸发的材料，将其夹放在真空室的热蒸发电极上，真空室的真空度已达到所要蒸发的程度时，将电极加上低电压大电流的电源，使舟里的材料加热蒸发。这种结构的蒸发舟在使用时，蒸发舟底部的材料先受热蒸发，在经过上层材料的过程中可能导致材料发生化学变化，影响材料的纯度。

为解决上述问题，该专利【申请号200720094316.7；公开号CN201132847Y】提出了一种改进的的加热蒸发舟，该蒸发舟是由薄的耐高温金属片制成的、带有通气孔的加热片，加热片的中间部分均匀分布小孔，第二部分是带有挂槽的挂盒，在挂盒内部配备有耐高温、导热差的氧化铝陶瓷内衬坩埚，用挂槽将挂盒挂在加热片上即可。

该加热蒸发舟通过使上层的材料率先受热蒸发，进而减少材料蒸发过程中发生的化学变化。但是，这样结构的加热蒸发舟还存在的问题在于：1、挂盒本身温度较低，在加热片上受热蒸发的材料有部分会在真空环境下扩散并附着到挂盒上，影响了材料的蒸发效果；2、挂盒和加热片需要不同材料分别加工，挂盒和加热片的结构比较复杂，加工成本较高。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了真空镀膜机的蒸发舟，本实用新型解决的技术问题是改善蒸发舟内镀膜材料的受热情况。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种真空镀膜机的蒸发舟，本蒸发舟包括舟体和位于舟体两端的电极，其特征在于，所述舟体上具有辅助加热片，上述辅助加热片与舟体形成用于放置蒸发原料的容纳空间，所述辅助加热片底部部分或者全部与所述舟体相连，所述舟体和辅助加热片均采用导电材料制成。

本真空镀膜机的蒸发舟的使用方式是：将蒸发舟定位在真空镀膜机内，并在舟体两端的电极上分别接入电源的正负极。将镀膜材料直接放置或者通过盛放器皿放置在容纳空间内，使材料位于容纳空间的中间位置。镀膜开始时，电源接通给舟体两端电极加电，舟体底部和辅助加热片表面在电流作用下发热，镀膜材料受热蒸发并顺着辅助加热片直接向外扩散到真空镀膜机的内部空间，并附着在温度较低的待镀膜工件上。舟体底部的热量通过热传导到镀膜材料上，辅助加热片表面的热量通过热辐射到镀膜材料上，改善蒸发舟内镀膜材料的受热情况，使镀膜材料能够迅速蒸发扩散到真空镀膜机的内部空间，提高了镀膜机的镀膜效率。

在上述的真空镀膜机的蒸发舟中，所述舟体和辅助加热片采用一体式结构，所述辅助加热片为舟体一侧或者两侧边材料的两端部剪开并向内弯折而成。舟体和辅助加热的加工方便，并且可以做到加工过程中无废料产生，提高了材料的利用率，降低了生产成本。

作为优选，在上述的真空镀膜机的蒸发舟中，所述舟体采用高熔点的金属材料制成。金属材料弯曲性能好，便于辅助加热片的加工。

在上述的真空镀膜机的蒸发舟中，所述舟体采用金属钨或者钛合金制成。镀膜材料在舟体上蒸发的过程中不易混入其他材料的杂质，保证了镀膜材料的纯度，提高镀膜质量。

作为另一种方案，在上述的真空镀膜机的蒸发舟中，所述辅助加热片呈封闭的环状结构，所述辅助加热片具有卡接块，所述舟体上具有与上述卡接块位置和形状一一对应的卡接孔，所述辅助加热片卡接定位在舟体上。

在上述的真空镀膜机的蒸发舟中，所述舟体和辅助加热片分别采用高熔点的金属材料制成。

这样的结构，使舟体和辅助加热片可以根据实际生产和加工需要选用不同的金属材料制成。

与现有技术相比，本真空镀膜机的蒸发舟的优点在于：通过辅助加热片在舟体上围成一个容纳空间，镀膜材料在容纳空间内受热蒸发的热量来自于舟体底部的热传导和辅助加热片的热辐射，使镀膜材料的受热更均匀，从而提高镀膜材料的蒸发速度，提高了镀膜机的镀膜效率。并且，舟体和辅助加热片为一体式结构，舟体和辅助加热的加工方便，材料利用率高，生产成本较低。

附图说明

图1是实施例一中本真空镀膜机的蒸发舟的示意图。

图2是实施例三中本真空镀膜机的蒸发舟的示意图。

图中，1、舟体；11、容纳空间；2、电极；3、辅助加热片。

具体实施方式