[实用新型]高速高精直线驱动并联XY平台

权利要求书

1.一种高速高精直线驱动并联XY平台，其特征在于，包括平台基座、分别固定在所述平台基座上的第一基座、第二基座和第三基座、固定安装在第一基座上的第一直线电机、固定安装在所述第二基座上的第二直线电机以及位于所述第三基座上方的动平台，所述动平台分别与所述第一直线电机和第二直线电机连接，所述第一直线电机驱动所述动平台沿X轴向运动，所述第二直线电机驱动所述动平台沿Y轴向运动，所述动平台和所述第三基座之间设有气浮垫,所述气浮垫与所述动平台固定安装。

2.如权利要求1所述的高速高精直线驱动并联XY平台，其特征在于：所述第一直线电机动子上连接有一连接件，所述连接件具有两个侧臂和连接部，所述两个侧臂分别与所述第一直线电机动子两端连接，所述连接部通过两根连杆与所述动平台连接。

3.如权利要求2所述的高速高精直线驱动并联XY平台，其特征在于：所述两根连杆通过铰接的方式分别与所述连接件和所述动平台连接。

4.如权利要求3所述的高速高精直线驱动并联XY平台，其特征在于：所述两根连杆分别通过铰链销与所述连接件和所述动平台连接，所述连杆上下两面分别设有与所述铰链销同轴的无油衬套，所述铰链销末端通过螺母锁紧。

5.如权利要求2所述的高速高精直线驱动并联XY平台，其特征在于：所述第一基座上设有沿X轴向的导轨，所述连接件下端具有与所述导轨配合的第一凹槽，所述连接件通过所述第一凹槽与所述导轨滑动连接。

6.如权利要求5所述的高速高精直线驱动并联XY平台，其特征在于：所述导轨为两个，分别位于所述第一直线电机两侧。

7.如权利要求2所述的高速高精直线驱动并联XY平台，其特征在于：所述第一基座上设有读数头安装件，所述读数头安装件上安装有读数头，所述连接件上安装有与所述读数头配合的沿X轴向的光栅尺。

8.如权利要求1-7任意一项所述的高速高精直线驱动并联XY平台，其特征在于：所述第二直线电机连接所述动平台的结构与所述第一直线电机连接所述动平台的结构相同。