[实用新型]高速高精直线驱动并联XY平台

说明书

技术领域

本实用新型涉及超精密定位设备领域，尤其涉及高速高精直线驱动并联XY平台。

背景技术

现有用于平面焊线机的XY平台大体的采用两个电机串联的模式组合而成，即两个电机的运动之间不会相互影响。由于焊线机本身的性能要求，XY平台需要有较大的加速度、速度和刚度。传统的XY平台为了满足上述要求，通常是一方面增大电机的功率，一方面是减小动平台及各连接件的质量和惯量。这样做的缺点主要是在确保高速高精的情况下，平台的刚度会有所下降，而且平台的成本也会增加。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术之缺陷，提供了一种结构简单、刚度高的高速高精直线驱动并联XY平台。

本实用新型是这样实现的：一种高速高精直线驱动并联XY平台，包括平台基座、分别固定在所述平台基座上的第一基座、第二基座和第三基座、固定安装在第一基座上的第一直线电机、固定安装在所述第二基座上的第二直线电机以及位于所述第三基座上方的动平台，所述动平台分别与所述第一直线电机和第二直线电机连接，所述第一直线电机驱动所述动平台沿X轴向运动，所述第二直线电机驱动所述动平台沿Y轴向运动，所述动平台和所述第三基座之间设有气浮垫,所述气浮垫与所述动平台固定安装。

进一步地，所述第一直线电机动子上连接有一连接件，所述连接件具有两个侧臂和连接部，所述两个侧臂分别与所述第一直线电机动子两端连接，所述连接部通过两根连杆与所述动平台连接。

进一步地，所述两根连杆通过铰接的方式分别与所述连接件和所述动平台连接。

进一步地，所述两根连杆分别通过铰链销与所述连接件和所述动平台连接，所述连杆上下两面分别设有与所述铰链销同轴的无油衬套，所述铰链销末端通过螺母锁紧。

进一步地，所述第一基座上设有沿X轴向的导轨，所述连接件下端具有与所述导轨配合的第一凹槽，所述连接件通过所述第一凹槽与所述导轨滑动连接。

进一步地，所述导轨为两个，分别位于所述第一直线电机两侧。

进一步地，所述第一基座上设有读数头安装件，所述读数头安装件上安装有读数头，所述连接件上安装有与所述读数头配合的沿X轴向的光栅尺。

进一步地，所述第二直线电机连接所述动平台的结构与所述第一直线电机连接所述动平台的结构相同。

本实用新型提供一种高速高精直线驱动并联XY平台，动平台在X轴向由第一直线电机驱动，在Y轴向由第二直线电机驱动，在动平台与其下的第三基座之间设置固定在动平台上的气浮垫，该气浮垫在吹气的同时增加了一个真空吸附，这使得气浮垫在滑动的同时会有一个固定的载荷，这个载荷可以使气浮垫浮起的高度固定在一个恒定值，提高了动平台的刚度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型高速高精直线驱动并联XY平台的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的连杆与连接件连接结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。