[实用新型]层叠体检查装置

权利要求书

1.一种层叠体检查装置，其为层叠体检查装置(101)，其特征在于，具备：照明单元(1)，具有用于照射第一光强度的光的第一光强度部分(1s)和用于照射比所述第一光强度弱的第二光强度的光的第二光强度部分(1r)，并且用于从在能让光透过的透过基材(c2、c3)上层叠不能让光透过的不透过部件(c1)、难以让光透过的半透过部件(c1)和能让光透过的透过部件(c5)中的至少一个而作成的层叠体(C)的第一面侧照射光，通过所述第一光强度的光向所述层叠体(C)的第二面侧作成所述部件(c1、c5)的影像的同时，通过所述第二光强度的光作成所述透过基材(c2、c3)的边缘(cE)的影像；受光单元(2)，取得所述部件(c1、c5)的影像以及所述边缘(cE)的影像的光强度；解析单元(3)，比较第一阀值T1和所述部件(c1、c5)的影像的受光强度、对所述部件(c1、c5)的位置进行检查，比较比所述第一阀值T1大的第二阀值T2和所述边缘(cE)的影像的受光强度、对所述边缘(cE)的位置进行检查。 

2.根据权利要求1所述的层叠体检查装置，其为层叠体检查装置(101)，其特征在于，所述照明单元(1)由光强度均一的面光源(1a)，和从所述面光源(1a)的光中作成所述第一光强度的第一光强度部分(1s)的同时作成所述第二光强度的第二光强度部分(1r)的减光板(1b)构成。 

3.根据权利要求1所述的层叠体检查装置，其为层叠体检查装置(101)，其特征在于，所述照明单元(1)由能够以根据发光面的部分区域的不同而不同的光强度进行发光的照明装置构成。 

4.根据权利要求1-3中任一项所述的层叠体检查装置，其特征在于，所述照明单元(1)由能够对应于所述部件(c5)的透光性的不同而变更光强度的照明装置构成。