[实用新型]真空镀膜在线测厚仪有效

专利信息
申请号: 201320764773.8 申请日: 2013-11-27
公开(公告)号: CN203587061U 公开(公告)日: 2014-05-07
发明(设计)人: 刁雄辉 申请(专利权)人: 深圳市林上科技有限公司
主分类号: G01B11/06 分类号: G01B11/06
代理公司: 深圳中一专利商标事务所 44237 代理人: 张全文
地址: 518000 广东省深圳市宝安区*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 真空镀膜 在线 测厚仪
【权利要求书】:

1.真空镀膜在线测厚仪,其特征在于,包括发光部件(1),感应光线强度并转变为电信号的感光部件(2),控制所述发光部件(1)以及所述感光部件(2)工作、实时接收并处理所述感光部件(2)所传输的电信号并输出的控制模块(3),机架(4),电源接口(5),以及通讯接口(6);

所述机架(4)包括机身(41)以及贯穿所述机身(41)的测试槽(42),所述发光部件(1)以及所述感光部件(2)设置于所述机身(41)上并分别对应设置于所述测试槽(42)的两侧,所述控制模块(3)设置于所述机身(41)上,所述电源接口(5)以及通信接口(6)设置于所述机身(41)上;

所述控制模块(3)分别与所述发光部件(1)、所述感光部件(2)、所述电源接口(5)、以及所述通讯接口(6)电连接。

2.如权利要求1所述的真空镀膜在线测厚仪,其特征在于,所述发光部件(1)包括第一套筒(11),设置于所述第一套筒(11)内的底部的LED(12),设置于所述第一套筒(11)内、将所述LED(12)发出的光线从所述第一套筒(11)的上端面平行射出的准直透镜(13),以及盖设于所述第一套筒(11)的上端面的第一窗口玻璃(14);所述第一套筒(11)的上端面设置于所述测试槽(42)的第一内侧面(4211)。

3.如权利要求1所述的真空镀膜在线测厚仪,其特征在于,所述感光部件(2)包括第二套筒(21),设置于所述第二套筒(21)内的底部的光电探测器(22),设置于所述第二套筒(21)内、将所述第二套筒(21)的上端面射进的光线聚焦到所述光电探测器(22)的聚焦透镜(23),以及盖设于所述第二套筒(21)的上端面的第二窗口玻璃(24);所述第二套筒(21)的上端面设置于所述测试槽(42)的第二内侧面(4221)。

4.如权利要求1所述的真空镀膜在线测厚仪,其特征在于,所述机架(4)为金属导热支架(4),所述控制模块(3)包括电路板(31)、金属导热底盖(32)、导热硅胶层(33)、以及金属导热上盖(34);

所述金属导热底盖(32)贴设于所述金属导热支架(4)上,所述电路板(31)贴设于所述金属导热底盖(32),所述导热硅胶层(33)覆盖于所述电路板(31)上,所述金属导热上盖(34)盖合于所述金属导热底盖(32)、并将所述电路板(31)以及所述导热硅胶层(33)盖合于内。

5.如权利要求4所述的真空镀膜在线测厚仪,其特征在于,所述电路板(31)上设置有信号放大器(311),A/D转换器(312),以及单片机(313);

所述信号放大器(311)的输入端接所述感光部件(2)、输出端接所述A/D转换器(312)的输入端,所述单片机(313)分别与所述发光部件(1)、所述A/D转换器(312)的输出端、所述电源接口(5)、以及所述通讯接口(6)电连接。

6.如权利要求1所述的真空镀膜在线测厚仪,其特征在于,所述通讯接口(6)包括第一通讯接口(61)以及第二通讯接口(62)。

7.如权利要求1所述的真空镀膜在线测厚仪,其特征在于,所述测试槽(42)的宽度为20mm。

8.如权利要求1所述的真空镀膜在线测厚仪,其特征在于,所述测试槽(42)的第一侧(421)排布设置有多个所述发光部件(1),第二侧(422)对应所述多个发光部件(1)设置有所述多个感光部件(2)。

9.如权利要求2所述的真空镀膜在线测厚仪,其特征在于,所述机架(4)还包括将所述发光部件(1)盖设于所述机身(41)的第一机身盖(43)。

10.如权利要求3所述的真空镀膜在线测厚仪,其特征在于,所述机架(4)还包括将所述感光部件(2)盖设于所述机身(41)的第二机身盖(44)。

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