[实用新型]真空镀膜在线测厚仪

说明书

技术领域

本实用新型涉真空镀膜测试技术领域，具体涉及真空镀膜在线测厚仪。

背景技术

真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是利用物理、化学方式将固体表面覆盖一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘等优越性能，起到提高产品质量、延长使用时间、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。

真空镀膜产品对膜层厚度要求高，镀膜过程中均匀性直接关系到镀膜产品的品质，因此对镀膜过程中的膜层厚度检测至关重要。

目前对于片状材料如太阳膜的膜层厚度的测试一般采用台阶仪、高倍电子显微镜、方块电阻法或分光光度计等方法测试。但是这些方法都只能在实验室使用，而无法在镀膜现场实时检测膜层厚度。

实用新型内容

有鉴于此，有必要提供能现场实时检测片状材料的膜层厚度的真空镀膜在线测厚仪。

真空镀膜在线测厚仪，包括发光部件，感应光线强度并转变为电信号的感光部件，控制所述发光部件以及所述感光部件工作、实时接收并处理所述感光部件所传输的电信号并输出的控制模块，机架，电源接口，以及通讯接口；

所述机架包括机身以及贯穿所述机身的测试槽，所述发光部件以及所述感光部件设置于所述机身上并分别对应设置于所述测试槽的两侧，所述控制模块设置于所述机身上，所述电源接口以及通信接口设置于所述机身上；

所述控制模块分别与所述发光部件、所述感光部件、所述电源接口、以及所述通讯接口电连接。

进一步的，所述发光部件包括第一套筒，设置于所述第一套筒内的底部的LED，设置于所述第一套筒内、将所述LED发出的光线从所述第一套筒的上端面平行射出的准直透镜，以及盖设于所述第一套筒的上端面的第一窗口玻璃；所述第一套筒的上端面设置于所述测试槽的第一内侧面。

进一步的，所述感光部件包括第二套筒，设置于所述第二套筒内的底部的光电探测器，设置于所述第二套筒内、将所述第二套筒的上端面射进的光线聚焦到所述光电探测器的聚焦透镜，以及盖设于所述第二套筒的上端面的第二窗口玻璃；所述第二套筒的上端面设置于所述测试槽的第二内侧面。

进一步的，所述机架为金属导热支架，所述控制模块包括电路板、金属导热底盖、导热硅胶层、以及金属导热上盖；

所述金属导热底盖贴设于所述金属导热支架上，所述电路板贴设于所述金属导热底盖，所述导热硅胶层覆盖于所述电路板上，所述金属导热上盖盖合于所述金属导热底盖、并将所述电路板以及所述导热硅胶层盖合于内。

进一步的，所述电路板上设置有信号放大器，A/D转换器，以及单片机；

所述信号放大器的输入端接所述感光部件、输出端接所述A/D转换器的输入端，所述单片机分别与所述发光部件、所述A/D转换器的输出端、所述电源接口、以及所述通讯接口电连接。

进一步的，所述通讯接口包括第一通讯接口以及第二通讯接口。

进一步的，所述测试槽的宽度为20mm。

进一步的，所述测试槽的第一侧排布设置有多个所述发光部件，第二侧对应所述多个发光部件设置有所述多个感光部件。

进一步的，所述机架还包括将所述发光部件盖设于所述机身的第一机身盖。

进一步的，所述机架还包括将所述感光部件盖设于所述机身的第二机身盖。

片状材料经过镀膜之后随即置入真空镀膜在线测厚仪的测试槽，可通过与真空镀膜在线测厚仪的通讯接口连接的人机交互设备和/或计算机监控系统实时检测和/或记录片状材料的膜层厚度，可以及时了解镀膜质量并针对质量问题及时调整镀膜工艺。

附图说明

图1为本实用新型实施例的真空镀膜在线测厚仪的第一视角立体结构示意图；

图2为本实用新型实施例的真空镀膜在线测厚仪的第二视角立体结构示意图；

图3为本实用新型实施例的真空镀膜在线测厚仪的第一分解结构示意图；

图4为本实用新型实施例的真空镀膜在线测厚仪的第二分解结构示意图；

图5为本实用新型实施例的真空镀膜在线测厚仪的电路原理示意框图。

具体实施方式

以下结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步说明。

参照图1～图5。

真空镀膜在线测厚仪，包括发光部件1，感应光线强度并转变为电信号的感光部件2，控制发光部件1以及感光部件2工作、实时接收并处理感光部件2所传输的电信号并输出的控制模块3，机架4，电源接口5，以及通讯接口6；