[实用新型]传输硅片花篮的90°旋转机构

权利要求书

1.一种传输硅片花篮的90°旋转机构，其特征在于，包括由支架支撑的旋转单元以及由旋转单元通过连接板支撑连接的传输单元；

所述旋转单元包括旋转单元支撑板、旋转圆盘、旋转驱动装置以及多个偏心凸轮导向器，所述旋转单元支撑板安装在所述支架上，旋转单元支撑板的中心设有圆孔，圆孔的直径大于旋转圆盘的直径；所述旋转圆盘安装在圆孔中；所述偏心凸轮导向器安装在旋转单元支撑板下板面的圆孔周围，偏心凸轮导向器滚轮的滚动面与旋转圆盘的下盘面相切；所述旋转驱动装置驱动所述旋转圆盘在圆孔中转动；

所述连接板固定在旋转圆盘上；

所述传输单元包括两个传输单元支撑板、顶面圆盘、两个主动轮、两对从动轮、两条传送带以及传输驱动组件，所述传输单元支撑板对称安装在连接板的两边，所述顶面圆盘水平安装在传输单元支撑板的上部；所述主动轮和从动轮以对称方式旋转安装在两个传输单元支撑板上；所述从动轮水平安装在传输单元支撑板靠近顶面圆盘的位置，从动轮的上沿高于顶面圆盘的上盘面；所述两条传送带分别缠绕在位于同一个传输单元支撑板上的主动轮和从动轮上；所述传输驱动组件通过转动轴与所述主动轮连接，驱动主动轮转动。

2.如权利要求1所述的传输硅片花篮的90°旋转机构，其特征在于，所述旋转驱动装置包括设在旋转圆盘上与旋转圆盘同轴的大同步带轮，与大同步带轮通过同步带连接的小同步带轮，用于驱动小同步带轮的第一伺服电机；所述第一伺服电机安装在旋转单元支撑板上。

3.如权利要求1所述的传输硅片花篮的90°旋转机构，其特征在于，所述传输驱动组件包括第二伺服电机和减速器，所述第二伺服电机通过减速器与所述转动轴连接。

4.如权利要求1所述的传输硅片花篮的90°旋转机构，其特征在于，还包括多个凸轮导向器，所述多个凸轮导向器分别安装在所述旋转单元支撑板的上板面和下板面，凸轮导向器滚轮的滚动面与旋转圆盘的侧面相切。

5.如权利要求1所述的传输硅片花篮的90°旋转机构，其特征在于，所述旋转单元支撑板上板面的圆孔周围也设有多个偏心凸轮导向器，所述偏心凸轮导向器滚轮的滚动面与所述旋转圆盘的上盘面相切。

6.如权利要求1所述的传输硅片花篮的90°旋转机构，其特征在于，所述顶面圆盘的上盘面设有两条导向条，所述两条导向条分别位于传送带两边位置，所述两条导向条之间的距离大于硅片花篮的宽度。

7.如权利要求1所述的传输硅片花篮的90°旋转机构，其特征在于，还包括张紧调节组件，所述张紧调节组件包括张紧轮、张紧静板、张紧动板、里顶螺钉和外拉螺钉，所述张紧静板横跨固定在传输单元支撑板上；所述张紧动板横跨滑动连接在传输单元支撑板上，张紧动板与张紧静板平行；所述张紧轮旋转安装在张紧动板的两端；所述张紧静板上设有通孔和螺孔；所述里顶螺钉安装在张紧静板的螺孔上，里顶螺钉的端部顶住张紧动板；所述外拉螺钉上装有调节螺母，外拉螺钉穿过张紧静板的通孔，其端部固定的张紧动板上。

8.如权利要求1至7任一项所述的传输硅片花篮的90°旋转机构，其特征在于，还包括控制系统，所述控制系统包括编码器以及分别与编码器连接的进料传感器、到位传感器和出料传感器；所述编码器分别与所述旋转驱动装置和传输驱动组件连接；所述进料传感器安装在进料口位置；所述出料传感器安装在出料口位置；所述到位传感器安装在所述顶面圆盘上。

9.如权利要求8所述的传输硅片花篮的90°旋转机构，其特征在于，所述控制系统还包括限位开关组件，所述限位开关组件由安装在所述旋转单元支撑板的限位开关以及安装在旋转圆盘上金属感应块组成；所述限位开关与旋转驱动装置连接。

10.如权利要求9所述的传输硅片花篮的90°旋转机构，其特征在于，所述控制系统还包括机械限位块，所述机械限位块设置在所述旋转单元支撑板上，用于与所述金属感应块卡合。