[实用新型]传输硅片花篮的90°旋转机构有效
申请号: | 201320788382.X | 申请日: | 2013-12-03 |
公开(公告)号: | CN203659826U | 公开(公告)日: | 2014-06-18 |
发明(设计)人: | 李广旭;张恒峰;王守琛;徐现飞;李补忠;王广明 | 申请(专利权)人: | 北京七星华创电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 孟宪功 |
地址: | 100015 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传输 硅片 花篮 90 旋转 机构 | ||
技术领域
本实用新型涉及硅片生产领域,特别是涉及一种传输硅片花篮的90°旋转机构。
背景技术
太阳能作为清洁、安全的可再生能源,是全球新能源的发展方向。在国家新型能源和可再生能源产业政策的指导下以及欧美太阳能市场强劲需求的带动下,近年国内太阳能光伏产业飞速发展。目前,中国已经成为太阳能电池制造大国,拥有全球最多的太阳能电池生产厂家和一半以上的产能。随着全球太阳能光伏产业的爆炸式增长,为了使太阳能领域单位发电成本降低到与常规发电成本相当,太阳能电池片制造商会越来越迫切要求使用高集成、高度自动化的生产线。
目前,晶硅太阳能电池片生产线各个工艺单元之间的硅片传输以堆叠式或卡槽式两种方式装载硅片,然后采用小车人工搬运。这种方式效率低,不利于大规模生产。为了实现全自动化大规模生产,各工艺单元之间的硅片传输必须采用自动传输系统实现。特别地,为了满足加工要求,在自动化生产过程中,被加工工件在传输过程中要进行换向,尤其是,对易碎的工件要求换向准确、平稳,但现有旋转机构换向过程的平稳性、准确性难以满足硅片的加工,为此需要设计一个专门的旋转机构。
实用新型内容
(一)要解决的技术问题
本实用新型的目的是提供旋转平稳的传输硅片花篮的90°旋转机构。
(二)技术方案
为了解决上述技术问题,本实用新型提供传输硅片花篮的90°旋转机构,包括由支架支撑的旋转单元以及由旋转单元通过连接板支撑连接的传输单元;
所述旋转单元包括旋转单元支撑板、旋转圆盘、旋转驱动装置以及多个偏心凸轮导向器,所述旋转单元支撑板安装在所述支架上,旋转单元支撑板的中心设有圆孔,圆孔的直径大于旋转圆盘的直径;所述旋转圆盘安装在圆孔中;所述偏心凸轮导向器安装在旋转单元支撑板下板面的圆孔周围,偏心凸轮导向器滚轮的滚动面与旋转圆盘的下盘面相切;所述旋转驱动装置驱动所述旋转圆盘在圆孔中转动;
所述连接板固定在旋转圆盘上;
所述传输单元包括两个传输单元支撑板、顶面圆盘、两个主动轮、两对从动轮、两条传送带以及传输驱动组件,所述传输单元支撑板对称安装在连接板的两边,所述顶面圆盘水平安装在传输单元支撑板的上部;所述主动轮和从动轮以对称方式旋转安装在两个传输单元支撑板上;所述从动轮水平安装在传输单元支撑板靠近顶面圆盘的位置,从动轮的上沿高于顶面圆盘的上盘面;所述两条传送带分别缠绕在位于同一个传输单元支撑板上的主动轮和从动轮上;所述传输驱动组件通过转动轴与所述主动轮连接,驱动主动轮转动。
其中,所述旋转驱动装置包括设在旋转圆盘上与旋转圆盘同轴的大同步带轮,与大同步带轮通过同步带连接的小同步带轮,用于驱动小同步带轮的第一伺服电机;所述第一伺服电机安装在旋转单元支撑板上。
其中,所述传输驱动组件包括第二伺服电机和减速器,所述第二伺服电机通过减速器与所述转动轴连接。
其中,还包括多个凸轮导向器,所述多个凸轮导向器分别安装在所述旋转单元支撑板的上板面和下板面,凸轮导向器滚轮的滚动面与旋转圆盘的侧面相切。
其中,所述旋转单元支撑板上板面的圆孔周围也设有多个偏心凸轮导向器,所述偏心凸轮导向器滚轮的滚动面与所述旋转圆盘的上盘面相切。
其中,所述顶面圆盘的上盘面设有两条导向条,所述两条导向条分别位于传送带两边位置,所述两条导向条之间的距离大于硅片花篮的宽度。
其中,还包括张紧调节组件,所述张紧调节组件包括张紧轮、张紧静板、张紧动板、里顶螺钉和外拉螺钉,所述张紧静板横跨固定在传输单元支撑板上;所述张紧动板横跨滑动连接在传输单元支撑板上,张紧动板与张紧静板平行;所述张紧轮旋转安装在张紧动板的两端;所述张紧静板上设有通孔和螺孔;所述里顶螺钉安装在张紧静板的螺孔上,里顶螺钉的端部顶住张紧动板;所述外拉螺钉上装有调节螺母,外拉螺钉穿过张紧静板的通孔,其端部固定的张紧动板上。
其中,还包括控制系统,所述控制系统包括编码器以及分别与编码器连接的进料传感器、到位传感器和出料传感器;所述编码器分别与所述旋转驱动装置和传输驱动组件连接;所述进料传感器安装在进料口位置;所述出料传感器安装在出料口位置;所述到位传感器安装在所述顶面圆盘上。
其中,所述控制系统还包括限位开关组件,所述限位开关组件由安装在所述旋转单元支撑板的限位开关以及安装在旋转圆盘上金属感应块组成;所述限位开关与旋转驱动装置连接。
其中,所述控制系统还包括机械限位块,所述机械限位块设置在所述旋转单元支撑板上,用于与所述金属感应块卡合。
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