[实用新型]通孔可靠性测试结构

权利要求书

1.一种通孔可靠性测试结构，其特征在于，包括至少两层相邻的互连层，每相邻两层的互连层之间均通过一通孔结构连接，其中：

每一互连层均有包括若干单元，每一所述单元均包括一第一互连线以及与所述第一互连线连接的多个第二互连线，不同所述单元之间的所述第一互连线在第一方向排列，同一所述单元之中的多个所述第二互连线在第二方向排列；

所述通孔结构包括第一通孔以及第二通孔，相邻所述互连层的第一互连线之间通过所述第一通孔对应连接，相邻所述互连层的第二互连线之间通过所述第二通孔对应连接；

所述第一互连线、第二互连线、第一通孔以及第二通孔通过一电介质绝缘间隔。

2.如权利要求1所述的通孔可靠性测试结构，其特征在于，所述第一互连线以及第二互连线均为条形。

3.如权利要求2所述的通孔可靠性测试结构，其特征在于，在同一所述单元中，所述第一互连线分别与多个所述第二互连线呈十字相交。

4.如权利要求3所述的通孔可靠性测试结构，其特征在于，所述第一互连线具有多个第一连接处，所述第一互连线在所述第一连接处与所述第一通孔相连；所述第一互连线具有多个第二连接处，所述第一互连线在所述第二连接处与所述第二互连线相交，所述多个第一连接处与多个第二连接处在所述第二方向上交错排列。

5.如权利要求3所述的通孔可靠性测试结构，其特征在于，不同所述单元中的所述第二互连线在所述第二方向上交叉排列。

6.如权利要求3所述的通孔可靠性测试结构，其特征在于，所述第二互连线在端点处与所述第二通孔相连。

7.如权利要求1所述的通孔可靠性测试结构，其特征在于，在同一所述互连层中，所述第一互连线的宽度以及第二互连线的宽度均为设计规则的互连线的最小宽度。

8.如权利要求1所述的通孔可靠性测试结构，其特征在于，在同一所述互连层中，所述第一互连线之间的间距以及第二互连线之间的间距均为设计规则的互连线的最小间距。

9.如权利要求1所述的通孔可靠性测试结构，其特征在于，在同一所述互连层中，所述第一通孔的直径以及第二通孔的直径均为设计规则的通孔最小宽度。

10.如权利要求1所述的通孔可靠性测试结构，其特征在于，在同一所述互连层中，所述第一通孔之间的间距、第二通孔之间的间距以及第一通孔和第二通孔之间的间距均大于等于设计规则的通孔最小间距。