[实用新型]硅片生产废砂浆在线回收装置

权利要求书

1.硅片生产废砂浆在线回收装置，其特征在于包括卧式离心机、中空纤维膜过滤机、砂浆搅拌槽，

卧式离心机设置有废砂浆进料口、废渣出料口、清液出料口和碳化硅出料口；

清液出料口通过管路连接清液储罐，清液储罐通过管路与粗滤装置连接，粗滤装置通过管路与中空纤维膜过滤机连接；

中空纤维膜过滤机由离心进料泵和中空纤维膜组件构成，粗滤装置通过管路与离心进料泵连接，离心进料泵通过分流管分别连接到中空纤维膜组件上，中空纤维膜组件上设置有浓液出口，浓液出口通过浓液回流管连接到清液储罐上，中空纤维膜组件下游端通过汇流管连接到成品液出口上，成品液出口通过成品液出管连接到成品液储罐上，加药箱与成品液储罐连通；

成品液储罐上连接有成品液输送管，成品液输送管上设置有成品液输送泵、数控阀门、数控流量计，成品液输送管末端连接到砂浆搅拌槽内，砂浆搅拌槽上设置有数字比重计、液位控制器、超声波发生器；

卧式离心机的碳化硅出料口与砂浆搅拌槽连通，砂浆搅拌槽与成品砂浆输料泵连接。

2.根据权利要求1所述的硅片生产废砂浆在线回收装置，其特征在于粗滤装置设置有两套，两套粗滤装置的管路并联连接，粗滤装置的上下游并联管路上分别设置有粗滤阀门。

3.根据权利要求1所述的硅片生产废砂浆在线回收装置，其特征在于中空纤维膜组件设置有两组，两组中空纤维膜组件相并联。