[实用新型]用于沉积工艺的防护罩

权利要求书

1.一种用于沉积工艺的防护罩，所述防护罩包括：

矩形框架构件，所述矩形框架构件具有两个相对的主要侧面和两个相对的次要侧面，所述主要侧面和所述次要侧面中的每一个包括：

第一侧面；

第二侧面，所述第二侧面与所述第一侧面相对并且经由第一外部侧壁连接到所述第一侧面；

第二外部侧壁，所述第二外部侧壁设置在所述第一外部侧壁内部并且界定上升区域，所述上升区域从所述第二侧面的平面凸出；以及

内部侧壁，所述内部侧壁连接所述上升区域和所述第一侧面，以及

矩形条状物，所述矩形条状物设置在所述上升区域的表面上，所述矩形条状物包括：

第一末端；和

第二末端，所述第二末端耦合到所述第一末端并且延伸进入所述框架构件的内部区域。

2.如权利要求1所述的防护罩，其特征在于，所述框架构件包括第一材料，并且所述矩形条状物包括第二材料。

3.如权利要求2所述的防护罩，其特征在于，所述第一材料和所述第二材料是不同的。

4.如权利要求2所述的防护罩，其特征在于，所述第一材料包括导电材料，以及所述第二材料包括介电材料。

5.如权利要求1所述的防护罩，进一步包括：

紧固组件，所述紧固组件将所述矩形条状物耦合到所述框架构件。

6.如权利要求5所述的防护罩，其特征在于，所述紧固组件包含接合销，所述接合销被压入所述框架构件中的开口和所述矩形条状物中的开口内。

7.如权利要求6所述的防护罩，其特征在于，所述紧固组件进一步包括设置在所述接合销中的紧固件。

8.如权利要求5所述的防护罩，其特征在于，所述框架构件包含第一材料，并且所述矩形条状物和所述紧固组件包含第二材料。

9.如权利要求8所述的防护罩，其特征在于，所述第一材料包含导电材料，以及所述第二材料包含介电材料。

10.如权利要求9所述的防护罩，其特征在于，所述第二材料包含陶瓷材料。

11.如权利要求9所述的防护罩，其特征在于，所述第一材料包括具有第一热膨胀系数的材料，所述第二材料包括具有第二热膨胀系数的材料，所述第二热膨胀系数大体上等于所述第一热膨胀系数。

12.一种用于沉积工艺的防护罩，所述防护罩包含：

矩形框架构件，所述矩形框架构件具有两个相对的主要侧面和两个相对的次要侧面，主要侧面和次要侧面中的每一个包含：

第一侧面；

第二侧面，所述第二侧面与所述第一侧面相对并且经由第一外部侧壁连接到所述第一侧面；

第二外部侧壁，所述第二外部侧壁设置在所述第一外部侧壁内部并且界定上升区域，所述上升区域从所述第二侧面的平面凸出；以及

内部侧壁，所述内部侧壁连接所述上升区域和所述第一侧面；以及

矩形条状物，所述矩形条状物设置在所述上升区域的表面上，所述矩形条状物经由紧固组件耦合到所述框架构件，并且所述矩形条状物环绕所述框架构件的内表面，所述矩形条状物包含：

第一末端；和

第二末端，所述第二末端耦合到所述第一末端并且延伸经过所述内部侧壁而进入所述框架构件的内部区域。

13.如权利要求12所述的防护罩，其特征在于，所述紧固组件包含接合销，所述接合销被压入所述框架构件中的开口和所述矩形条状物中的开口内。

14.如权利要求13所述的防护罩，其特征在于，所述紧固组件进一步包括设置在所述接合销中的紧固件。

15.如权利要求14所述的防护罩，其特征在于，所述框架构件包含第一材料，并且所述矩形条状物和所述紧固组件包含第二材料。

16.如权利要求15所述的防护罩，其特征在于，所述第一材料包含导电材料，以及所述第二材料包含介电材料。

17.如权利要求16所述的防护罩，其特征在于，所述第二材料包含陶瓷材料。