[实用新型]一种溅镀用固持装置有效
| 申请号： | 201320823989.7 | 申请日： | 2013-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN203668504U | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 渭南高新区晨星专利技术咨询有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 714000 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 溅镀用固持 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种溅镀用固持装置，用于在溅镀过程中对基材进行固持，所述固持装置包括：
一个基板，用于承载所述基材，所述基板上开设多个放置孔及多个与所述放置孔相对应的滑轨，所述滑轨沿垂直所述放置孔的方向开设；以及
多个抵片，所述抵片开设与所述基材及所述基板厚度相匹配的滑槽，且所述抵片由所述放置孔导入所述滑轨，并沿所述滑轨滑动以使所述基材及所述基板卡设在所述滑槽中，所述多个抵片环绕所述基材分布在基板上，以分别从所述基材的侧面抵持住该基材。
2.如权利要求1所述的溅镀用固持装置，其特征在于，所述多个抵片分别包括一个铁氟龙膜层。
3.如权利要求1所述的溅镀用固持装置，其特征在于，所述基材为长方体形结构。
4.如权利要求3所述的溅镀用固持装置，其特征在于，所述基板设置两对放置孔，所述每对放置孔所包含的两个放置孔之间的距离为所述基材的宽度。
5.如权利要求1所述的溅镀用固持装置，其特征在于，所述基材为圆柱形结构。
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