[实用新型]表面处理设备

权利要求书

1.一种表面处理设备，其特征在于，包括： 

清洗部（1），用于对工件表面进行清洗，去除工件表面附着的杂质； 

前段烘干部（2），设置在清洗部（1）之后，用于对工件表面进行烘干处理以去除工件表面残留的液体； 

前段冷却部（3），设置在前段烘干部（2）之后，用于将工件冷却到预定温度； 

预处理部（4），设置在前段冷却部（3）之后，用于对工件表面进行预处理以增加硅化保护层与工件表面的粘合力； 

中段烘干部（5），设置在预处理部（4）之后，用于对工件表面进行烘干处理以去除工件表面残留的液体； 

中段冷却部（6），设置在中段烘干部（5）之后，用于将工件冷却到预定温度； 

硅化处理部（7），设置在中段冷却部（6）之后，用于对工件表面进行硅化处理以在工件表面形成硅化保护层；和 

后段烘干部（8），设置在硅化处理部（7）之后，用于对工件表面进行烘干处理以去除工件表面残留的液体。 

2.根据权利要求1所述的表面处理设备，其特征在于，所述清洗部（1）包括多个清洗槽（11-18），依次对工件进行表面清洗操作，每个所述清洗槽在靠近工件输入端侧壁的一定距离处设置有隔板（112），将清洗槽隔离成主槽（110）和副槽（111），靠近工件输入端的槽体为副槽（111），副槽（111）右侧为主槽（110）。 

3.根据权利要求2所述的表面处理设备，其特征在于，每个所述清洗槽中，在所述副槽(11)后侧侧壁且低于主槽（110）液面的位置设有一个溢流口(113)。 

4.根据权利要求2所述的表面处理设备，其特征在于，所述清洗槽的主槽（110）底部设置有超声波发生装置(114)，用于产生变频超声波以清洗掉工件表面的杂质，所述超声波的频率在20KHZ—120KHZ范围内连续变化。 

5.根据权利要求2所述的表面处理设备，其特征在于，多个所述清洗槽还设置有给排水系统，包括： 

主槽（110）底部设置的用于补给新水的进水口，副槽（111）的底部设置的用于排水的出水口，出水口连接到水泵（P），水泵（P）的出水端连接到单向阀（V），单向阀（V）的出水端连接到过滤器（F），过滤器（F）的出水端连接到主槽（110）底部的进水口。 

6.根据权利要求2所述的表面处理设备，其特征在于，每个所述清洗槽中，主槽（110）中设置有补水口，在副槽（111）侧壁高于槽体底部的位置处设置有第一水位感应器，在第一水位感应器上方低于主槽液面的位置设置有第二水位感应器，当副槽液面低于第二水位感应器的位置时，通过所述主槽（110）的补水口向主槽补水。 

7.根据权利要求1-6中任一项所述的表面处理设备，其特征在于，所述清洗部（1）包括8个清洗槽（11-18），依次对工件进行表面清洗操作，其中， 

第一清洗槽（11）中放置PH值为12-14的强碱性第一清洗药水，用于清除附着在工件表面的油污和颗粒物； 

第二清洗槽（12）中放置PH值为8-10的弱碱性第二清洗药水，用于进一步去除附着在工件表面的油污和颗粒物； 

第三清洗槽（13）中放置PH值为2-5的强酸性第三清洗药水，用于清除附着在工件表面的碱性残留物； 

第四清洗槽（14）和第五清洗槽（15）形成为连体槽，其中放置PH值为8-8.5的弱碱性第四清洗药水，用于去除残留在工件表面的酸性药水； 

第六清洗槽（16）和第七清洗槽（17）形成为连体槽，其中放置常温超纯水，用于去除残留在工件表面的弱碱性第四清洗药水及其产生物；以及 

第八清洗槽（18）中放置温度在60—75度之间的高温超纯水，用于进一步去除残留在工件表面的杂质； 

所述第一至第七清洗槽中的超声波开启时间在60秒至180秒之间。