[实用新型]一种用于干法硅烷工艺的混合器有效
| 申请号： | 201320825232.1 | 申请日： | 2013-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN203593629U | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 李耀文;耿彩军;刘斌;孙佳杰;张增玉 | 申请（专利权）人： | 李耀文 |
| 主分类号： | C01B33/04 | 分类号： | C01B33/04;B01F5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100071 北京市丰*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 硅烷 工艺 混合器 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于干法硅烷工艺的混合器，其特征在于：包括混合器本体以及底座；其中，于所述混合器本体内设有一混合腔体；于所述混合器本体的顶部中央设有一硅化镁浆液入口，于所述混合器本体的顶部四周均布有四个氯化铵溶液入口；所述硅化镁浆液入口、氯化铵溶液入口分别和混合腔体连通；所述底座通过法兰安装于混合器本体的底部，其上设有一混合物出口。
2.如权利要求1所述的用于干法硅烷工艺的混合器，其特征在于：于所述混合腔体内设有一层耐磨内衬层，该耐磨内衬层为碳化硅或氮化硅材质的耐磨内衬层。
3.如权利要求1所述的用于干法硅烷工艺的混合器，其特征在于：所述氯化铵溶液入口向混合器本体的中心轴线倾斜；所述硅化镁浆液入口、混合物出口沿混合器本体的中心轴线延伸。
4.如权利要求1所述的用于干法硅烷工艺的混合器，其特征在于：所述混合物出口呈向下扩散的喇叭状结构。
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