[实用新型]一种用于干法硅烷制造的硅烷发生器

权利要求书

1.一种用于干法硅烷制造的硅烷发生器，其特征在于：包括发生器筒体、若干层隔料板、主轴以及搅拌电机；其中，所述若干层隔料板收容于发生器筒体内，并呈堆叠设置；所述主轴竖直延伸入发生器筒体内，其顶部连接所述搅拌电机；于所述主轴上设有若干卡箍，各卡箍上安装有一对耙臂；所述耙臂上设有若干耙齿，所述耙齿位于隔料板的上方。

2.如权利要求1所述的用于干法硅烷制造的硅烷发生器，其特征在于：于所述发生器筒体的顶部安装有一密封段，于该密封段内设有轴承，所述主轴支承于轴承上。

3.如权利要求2所述的用于干法硅烷制造的硅烷发生器，其特征在于：于所述搅拌电机上罩有一电机罩，该电机罩固持于密封段的顶部。

4.如权利要求3所述的用于干法硅烷制造的硅烷发生器，其特征在于：所述发生器筒体包括顶部的封头、中部的直筒段以及底部的锥段；于所述直筒段上的两侧设有一对支耳。

5.如权利要求4所述的用于干法硅烷制造的硅烷发生器，其特征在于：所述隔料板呈水平设置，每一隔料板上方对应设有一对耙臂。